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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利一种晶圆偏移的修正装置及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115799142B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211090937.3，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权一种晶圆偏移的修正装置及其控制方法是由潘旋;黄俊杰设计研发完成，并于2022-09-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆偏移的修正装置及其控制方法在说明书摘要公布了：本公开实施例提供一种晶圆偏移的修正装置及其控制方法，包括：晶圆承载平台，可运动部件，多个第一信号器组，其中，多个第一信号器组中的每一个第一信号器组包括第一信号发射器和第一信号接收器，第一信号发射器用于发射信号，第一信号接收器用于接收信号，并将接收到的信号转换为第一电信号后输出；处理控制电路，用于获取每一个第一信号器组中的第一信号接收器输出的第一电信号，在根据获取到的每一个第一信号器组中的第一信号接收器输出的第一电信号，确定晶圆偏移后，控制可运动部件沿与晶圆的偏移方向相反的方向上移动晶圆。本装置可以有效地改善晶圆的位置，降低晶圆滑片、掉片的风险，从而提高晶圆的良品率。

本发明授权一种晶圆偏移的修正装置及其控制方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆偏移的修正装置，其特征在于，包括： 晶圆承载平台，用于承载晶圆； 可运动部件，用于移动所述晶圆，设置在所述晶圆承载平台的内部； 多个第一信号器组，环绕设置于所述晶圆承载平台承载的所述晶圆的外围；其中，所述多个第一信号器组中的每一个所述第一信号器组包括第一信号发射器和第一信号接收器，所述第一信号发射器用于发射信号，所述第一信号接收器用于接收所述第一信号发射器发射的信号，并将接收到的信号转换为第一电信号后输出； 处理控制电路，用于获取每一个所述第一信号器组中的第一信号接收器输出的第一电信号，在根据获取到的每一个所述第一信号器组中的第一信号接收器输出的第一电信号，确定所述晶圆偏移后，控制所述可运动部件沿与所述晶圆的偏移方向相反的方向上移动所述晶圆； 所述处理控制电路进一步用于在确定获取到的每一个所述第一信号器组中的第一信号接收器输出的第一电信号中具有小于第二阈值的第一电信号时，确定所述晶圆偏移，并根据所述小于第二阈值的第一电信号和预先存储的所述小于第二阈值的第一电信号对应的第一信号接收器的序号，确定所述晶圆的偏移方向和偏移量，以及根据确定出的偏移方向和偏移量，控制所述可运动部件沿与所述晶圆偏移方向相反的方向上移动所述晶圆；在确定获取到的每一个所述第一信号器组中的第一信号接收器输出的第一电信号中不具有小于所述第二阈值的第一电信号时，确定所述晶圆未偏移。

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