北京北方华创微电子装备有限公司马良获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利半导体工艺设备及其晶片传输系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115692275B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110865550.X，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权半导体工艺设备及其晶片传输系统是由马良设计研发完成，并于2021-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体工艺设备及其晶片传输系统在说明书摘要公布了：本申请公开一种半导体工艺设备及其晶片传输系统，该晶片传输系统包括：安装平台，设置有第一安装区和避让空间，第一安装区设置于安装平台的顶面，避让空间与外部连通且贯通安装平台的底面，且在安装平台的高度方向上，第一安装区覆盖避让空间；装载腔，安装于第一安装区；传输腔，安装于第一安装区；抽气装置，包括支架以及集成安装于支架上的第一真空模组和第二真空模组，第一真空模组用于对装载腔进行抽气，第二真空模组用于对传输腔进行抽气；抽气装置的尺寸与避让空间的尺寸相匹配，抽气装置被配置为在其安装于避让空间时与安装平台间隔布置。上述方案能够优化晶片传输系统中抽气装置的布局方式。
本发明授权半导体工艺设备及其晶片传输系统在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺设备的晶片传输系统，其特征在于，所述晶片传输系统包括： 安装平台，设置有第一安装区和避让空间，所述第一安装区设置于所述安装平台的顶面，所述避让空间与外部连通且贯通所述安装平台的底面，且在所述安装平台的高度方向上，所述第一安装区覆盖所述避让空间； 装载腔，安装于所述第一安装区； 传输腔，安装于所述第一安装区； 抽气装置，包括支架以及集成安装于所述支架上的第一真空模组和第二真空模组，所述第一真空模组用于对所述装载腔进行抽气，所述第二真空模组用于对所述传输腔进行抽气；所述抽气装置的尺寸与所述避让空间的尺寸相匹配，所述抽气装置被配置为在其安装于所述避让空间时与所述安装平台间隔布置。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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