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华东光电集成器件研究所沈雨顺获国家专利权

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龙图腾网获悉华东光电集成器件研究所申请的专利一种芯片测试装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115372365B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211205302.3,技术领域涉及:G01N21/88;该发明授权一种芯片测试装置是由沈雨顺;刘宇设计研发完成,并于2022-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。

一种芯片测试装置在说明书摘要公布了:本发明公开一种芯片测试装置,属于半导体器件测试技术领域。它包括底座5和设置在底座上的升降机6,升降机的升降端固定连接测试台7,底座上固定连接支架4,支架上连接显微镜1,显微镜的镜头朝向测试台,测试台上表面设有一组定位网格线12;测试台外侧的环形台2上设有固定不动的探针座8,测试台与探针座相互不接触;探针座上设有可移动调节的探针19,测试台和探针分别电性连接在测试仪24上。本发明通过在测试台上设置定位网格线,配合显微镜的放大作用,能够方便芯片对准定位,保证探针容易对准接触PAD区,同时不易损伤芯片,它具有操作简单快捷、制作成本低的优点。

本发明授权一种芯片测试装置在权利要求书中公布了:1.一种芯片测试装置,包括底座5和设置在底座5上的升降机6,升降机6的升降端固定连接测试台7,底座5上固定连接支架4,支架4上连接显微镜1,显微镜1的镜头朝向测试台7,其特征在于:所述测试台7上表面设有一组定位网格线12; 测试台7外侧的环形台2上设有固定不动的探针座8,测试台7与探针座8相互不接触;探针座8上设有可移动调节的探针19,测试台7和探针19分别电性连接在测试仪24上; 所述定位网格线12为九宫格,每个宫格为矩形且设有刻度,宫格尺寸不超过待测芯片的标准外形尺寸,其中间宫格正对显微镜1的镜头; 所述探针座8上设有滑槽15,滑槽15内滑动配合连接固定探针19的安装支架9,探针座8与安装支架9通过调节机构使安装支架9在滑槽15内往复移动; 所述安装支架9包括L形支架17,L形支架17一端转动连接滑块16、另一端固定连接与探针19插接的固定套18,固定套18的周侧设有锁紧探针19用的调整螺钉20; 所述升降机6固定端上设有测量测试台7升降高度的激光测距仪3; 所述测试台7上表面固定设有一层银丝网13,一组所述定位网格线12设在银丝网13表面,银丝网13与测试仪24电性连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人华东光电集成器件研究所,其通讯地址为:233030 安徽省蚌埠市汤和路2016号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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