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龙图腾网获悉北京理工大学申请的专利双二维MEMS微镜扫描的高灵敏共焦拉曼光谱快速测量方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115372335B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211103836.5，技术领域涉及：G01N21/65；该发明授权双二维MEMS微镜扫描的高灵敏共焦拉曼光谱快速测量方法及装置是由赵维谦;张国卓;邱丽荣;崔晗设计研发完成，并于2022-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本双二维MEMS微镜扫描的高灵敏共焦拉曼光谱快速测量方法及装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种双二维MEMS微镜扫描的高灵敏共焦拉曼光谱快速测量方法及装置，属于显微光谱成像技术领域。该方法利用两片二维MEMS微镜实现光束横向扫描，省去了扫描透镜和管镜，并利用二向色分光系统实现反射光和拉曼散射光的无损分离，利用反射光构建共焦显微成像系统，实现样品几何形貌的快速高空间分辨探测；利用拉曼散射光构建共焦拉曼光谱探测系统，对于表面比较平整的样品，可以进行单层扫描快速完成样品表面的拉曼光谱探测；对于表面起伏比较大的样品，可以进行逐点定焦实现拉曼光谱的高空间分辨探测。本发明具有高灵敏、测量速度快、样品适应性广可测量表面起伏较大样品、集成度高且结构简单等优势。

本发明授权双二维MEMS微镜扫描的高灵敏共焦拉曼光谱快速测量方法及装置在权利要求书中公布了：1.双二维MEMS微镜扫描的高灵敏共焦拉曼光谱快速测量方法，其特征在于：具体包括以下过程： 步骤一、光源系统1发出的激发光束经过分光镜2与二向色分光系统3后，再经双二维MEMS微镜扫描系统4反射，由测量物镜7会聚到被测样品9上，激发出载有样品微区特性的拉曼散射光和反射光； 步骤二、拉曼散射光与反射光经过测量物镜7收集，沿着双二维MEMS微镜扫描系统4原路返回后，被二向色分光系统3分为两束，其中一束经过二向色分光系统3反射到达共焦探测系统16，另一束透过二向色分光系统3进入共焦拉曼光谱探测系统11； 步骤三、到达共焦探测系统16的反射光经第三会聚镜17聚焦，进入第三会聚镜17焦点位置的共焦针孔18，后被光电探测器19接收； 当轴向扫描系统8驱动测量物镜7进行轴向扫描时，光电探测器19得到随轴向位置变化的轴向光强响应曲线20，通过轴向光强响应曲线20可以实现对样品初始扫描点的轴向定焦； 步骤四、进入共焦拉曼光谱探测系统11处的拉曼散射光经第一会聚镜12聚焦，进入拉曼光谱收集针孔13，后由第二会聚镜14会聚后被光谱探测器15接收，实现样品拉曼光谱的高灵敏探测； 步骤五、双二维MEMS微镜扫描系统4控制第一MEMS微镜5和第二MEMS微镜6进行偏摆，利用几何参数确定MEMS微镜偏转角度和光束扫描角度之间的函数关系： 其中，d是两片MEMS微镜中心点之间的距离，l是第二片MEMS中心和物镜后瞳之间的距离，θx，θy分别是最终出射光束在X方向和Y方向的偏转角度，ωx1，ωy1，ωx2，ωy2分别是两片MEMS微镜在X方向和Y方向的偏转角度；控制测量光束在被测样品9表面进行“S型”扫描21，以此实现被测样品9表面的横向快速扫描，从而完成样品表面拉曼光谱的快速高灵敏探测。

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