芝浦机械电子装置株式会社西部幸伸获国家专利权
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龙图腾网获悉芝浦机械电子装置株式会社申请的专利基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114864436B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210096669.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理装置是由西部幸伸设计研发完成，并于2022-01-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种可提高基板的品质的基板处理装置。实施方式是一种基板处理装置，对具有翘曲的基板进行处理，且所述基板处理装置包括：多个搬送辊，将在与基板的搬送方向正交的宽度方向上隔开地设置的两个作为一组，沿着搬送方向设置有多组，支撑凹面侧并以轴为中心旋转，由此搬送基板；第一轴，将在宽度方向上隔开地设置的两根作为一组，沿着搬送方向设置有多组，安装有搬送辊；以及流体供给部，向基板的凹面供给流体，流体供给部从在宽度方向上隔开的各组的搬送辊之间向基板的凹面供给流体。
本发明授权基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，处理具有翘曲的基板，且所述基板处理装置包括： 多个搬送辊，将在与所述基板的搬送方向正交的宽度方向上隔开地设置的两个作为一组，沿着所述基板的搬送方向设置有多组，支撑所述基板的凹面侧来搬送所述基板； 第一轴，将在所述宽度方向上隔开地设置的两根作为一组，沿着所述基板的搬送方向设置有多组，安装有所述搬送辊；以及 流体供给部，向所述基板的凹面供给处理液， 所述流体供给部从在所述宽度方向上隔开的各组所述搬送辊之间向所述基板的凹面供给处理液， 所述流体供给部在所述宽度方向上具有多个喷出部，所述喷出部与配置于靠近各组的两个所述搬送辊的一侧的所述喷出部相比，配置于所述宽度方向上的中央侧的所述喷出部的所述处理液的喷出量更多。
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