广东越海集成技术有限公司王田芳获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉广东越海集成技术有限公司申请的专利一种深Pad晶圆的键合方法及其应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114864421B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210488378.5，技术领域涉及：H01L21/56；该发明授权一种深Pad晶圆的键合方法及其应用是由王田芳设计研发完成，并于2022-05-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种深Pad晶圆的键合方法及其应用在说明书摘要公布了：本发明提供一种深Pad晶圆的键合工艺及其应用，所述键合工艺首先将带有键合胶的玻璃基板和晶圆接触，然后进行预处理，最后在升温的条件下使得所述玻璃基板上的键合胶填进所述晶圆的Pad凹坑内并固化，完成所述深Pad晶圆的键合；通过限定所述预处理包括两次抽真空和一次破真空的步骤，在固化前有效去除了残留在Pad凹坑内的空气，从根本上避免了固化后晶圆存在孔洞以及残胶的问题，降低了深Pad键合晶圆产品的不良率，提高了键合工艺的稳定性，为深Pad晶圆的键合提供了一种新的工艺方法。
本发明授权一种深Pad晶圆的键合方法及其应用在权利要求书中公布了：1.一种深Pad晶圆的键合方法，其特征在于，所述键合方法包括：将带有键合胶的玻璃基板和晶圆接触，进行预处理，在升温的条件下使所述玻璃基板上的键合胶填进所述晶圆的Pad凹坑内并固化，完成所述深Pad晶圆的键合； 所述预处理的方法包括：对体系依次进行第一次抽真空、破真空和第二次抽真空，完成所述预处理； 所述第一次抽真空后体系的真空度为1~200Pa； 所述第二次抽真空后体系的真空度为0.01~1Pa； 所述预处理在加热的条件下进行； 所述加热的温度为30~35℃。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人广东越海集成技术有限公司，其通讯地址为：510000 广东省广州市增城区朱村街朱村大道西108号1栋102单元；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励