细美事有限公司方济午获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利基板处理装置和基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114446825B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111289258.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理装置和基板处理方法是由方济午;安迎曙;李承汉;李承桓;金铉玟设计研发完成，并于2021-11-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置和基板处理方法在说明书摘要公布了：本发明构思涉及一种基板处理装置，其包括：加工腔室，其具有第一主体和第二主体；支撑单元，其支撑基板；加热单元，其加热基板；驱动器，其使第一主体和第二主体中的任一个移动；间隔状态检测单元，其在第一主体和第二主体被放置在加工位置时检测第一主体的侧壁和第二主体的侧壁之间的间隔状态；以及控制器，其控制驱动器和间隔状态检测单元，其中间隔状态检测单元包括：压力提供管线，其在第一主体的侧壁和第二主体的侧壁之间提供正压力或负压力；以及压力测量构件，其测量压力提供管线的压力的变化。
本发明授权基板处理装置和基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其包括： 加工腔室，其具有第一主体和第二主体，所述第一主体和所述第二主体彼此结合以在所述加工腔室中具有处理空间； 支撑单元，其位于所述处理空间内并支撑基板； 加热单元，其被配置为加热放置在所述支撑单元上的所述基板； 驱动器，其被配置为使所述第一主体和所述第二主体中的任一个移动以使所述第一主体和所述第二主体在加工位置和打开位置之间移动； 间隔状态检测单元，其被配置为当所述第一主体和所述第二主体被放置在所述加工位置中时，检测所述第一主体的侧壁和所述第二主体的侧壁之间的间隔状态；以及 控制器，其被配置为控制所述驱动器和所述间隔状态检测单元， 其中，所述间隔状态检测单元包括： 压力提供管线，其被配置为在所述第一主体的侧壁和所述第二主体的侧壁之间提供正压力或负压力；以及 压力测量构件，其被配置为测量所述压力提供管线的压力的变化，并且 其中，所述控制器基于由所述压力测量构件测量的压力来确定所述间隔状态是否有缺陷。
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