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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利衬底处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114429924B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111260217.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权衬底处理装置是由泽岛隼;山口贵大设计研发完成，并于2021-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本衬底处理装置在说明书摘要公布了：本发明的衬底处理装置对衬底供给流体而进行处理，所述装置包含以下要素：第1处理壳体；处理部，设置在所述第1处理壳体的内部，用于利用流体对载置于载置部的衬底进行处理；第1供给部，从所述第1处理壳体的供进行维护的正侧面观察时，配置在所述处理部的一侧方，对所述处理部供给第1流体；及第2供给部，从所述正侧面观察时，配置在所述处理部的另一侧方，对所述处理部供给第2流体。

本发明授权衬底处理装置在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理装置，对衬底供给流体而进行处理，所述装置包含以下要素： 第1处理壳体； 处理部，设置在所述第1处理壳体的内部，用于利用流体对载置于载置部的衬底进行处理； 第1供给部，从所述第1处理壳体的供进行维护的正侧面观察时，配置在所述处理部的一侧方，对所述处理部供给第1流体；及 第2供给部，从所述正侧面观察时配置在所述处理部的另一侧方，对所述处理部供给第2流体； 所述第1供给部具备： 第1喷嘴，对载置于所述载置部的衬底供给所述第1流体；及 第1流体供给部，对所述第1喷嘴供给所述第1流体； 所述第2供给部具备： 第2喷嘴，对载置于所述载置部的衬底供给所述第2流体；及 第2流体供给部，对所述第2喷嘴供给所述第2流体； 所述第1喷嘴具备：基端部，从所述第1流体供给部被供给所述第1流体；喷出部，与所述基端部连通连接；及臂，将所述基端部与所述喷出部连结；且所述基端部配置在比所述载置部更靠所述第1流体供给部侧，所述喷出部以所述基端部为中心在位于所述载置部上方的供给位置与离开所述载置部的待机位置之间摆动， 所述第2喷嘴具备：基端部，从所述第2流体供给部被供给所述第2流体；喷出部，与所述基端部连通连接；及臂，将所述基端部与所述喷出部连结；且所述基端部配置在比所述载置部更靠所述第2流体供给部侧，所述喷出部以所述基端部为中心在位于所述载置部上方的供给位置与离开所述载置部的待机位置之间摆动； 所述第1喷嘴及所述第2喷嘴的所述基端部配置在较所述载置部更靠近所述第1处理壳体的所述正侧面的位置； 所述第1流体供给部配置为与所述第1喷嘴的所述基端部的侧方邻接，且所述第2流体供给部配置为与所述第2喷嘴的所述基端部的侧方邻接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社斯库林集团，其通讯地址为：日本京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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