细美事有限公司权五烈获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利基板处理装置和基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113964055B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111032666.1，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理装置和基板处理方法是由权五烈;申秀娟;李志玹;曺昌律设计研发完成，并于2021-09-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置和基板处理方法在说明书摘要公布了：公开了一种基板处理装置。基板处理装置包括：成像单元，其拍摄从多个喷嘴排出的一种或多种排出液体的轨迹；以及检查单元，其计算从多个喷嘴排出的一种或多种排出液体的撞击点并确定从多个喷嘴排出的一种或多种排出液体的撞击点是否正常。检查单元包括：图像合成单元，其合成由成像单元拍摄的多个图像；预处理单元，其对通过图像合成单元生成的图像数据进行预处理；和计算单元，其通过比较由预处理单元预处理的图像数据来计算从多个喷嘴排出的一种或多种排出液体的撞击点是否正常。
本发明授权基板处理装置和基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，用于通过从多个喷嘴排出到基板的一种或多种排出液体来处理所述基板，所述基板处理装置包括： 成像单元，所述成像单元被配置用于拍摄从所述多个喷嘴排出的所述一种或多种排出液体的轨迹；和 检查单元，所述检查单元被配置用于： 将坐标系转换为极坐标系； 计算从所述多个喷嘴排出的所述一种或多种排出液体的撞击点，并利用在所转换后的极坐标系中获得的数据值而通过比较从所述多个喷嘴排出的所述一种或多种排出液体的所述撞击点是否对应于所述喷嘴的阈值范围来确定从所述多个喷嘴排出的所述一种或多种排出液体的所述撞击点是否正常，所述喷嘴的阈值范围是基于所述喷嘴中的流量值和根据所述流量值的所述轨迹的位置而确定的, 其中，在所述比较中，所述检查单元比较从实际捕获图像中导出的撞击点的角度与根据所述喷嘴中的流量值设定的撞击点的角度。
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