深圳吉华微特电子有限公司许冬梅获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳吉华微特电子有限公司申请的专利一种高压终端用介质层结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223651397U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423075818.8,技术领域涉及:H01L21/762;该实用新型一种高压终端用介质层结构是由许冬梅;张雨欣;贾国;何咏欣;李环伟设计研发完成,并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高压终端用介质层结构在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种高压终端用介质层结构,包括依次层叠设置的Si衬底层、氧化层、多晶层、USG隔离层、第一金属层、第一SRO层、SiO2层、第二金属层,所述第一金属层与所述USG隔离层之间还设置有相互连接的第二SRO层和所述PSG层。通过本实用新型提供的高压终端用介质层结构,通过增加第一SRO层和第二SRO层,在实现芯片流片的同时,还能够满足可靠性设计要求,SRO可耐受高温环境的热膨胀和热冲击,不易发生形变和破裂;同时SRO电绝缘性能和介电常数非常高,具备优异的绝缘性能,可在很大程度上提高高压功率器件的电磁干扰能力,缓解了晶圆应力,解决膜裂问题,提高了产品的可靠性,且介质层的性能质量优势明显。
本实用新型一种高压终端用介质层结构在权利要求书中公布了:1.一种高压终端用介质层结构,其特征在于,包括依次层叠设置的Si衬底层、氧化层、多晶层、USG隔离层、第一金属层、第一SRO层、SiO2层、第二金属层,所述第一金属层与所述USG隔离层之间还设置有相互连接的第二SRO层和PSG层。
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