烟台齐新半导体技术研究院有限公司王子粼获国家专利权
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龙图腾网获悉烟台齐新半导体技术研究院有限公司申请的专利一种晶圆取片工装获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223651396U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520210160.2，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种晶圆取片工装是由王子粼设计研发完成，并于2025-02-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆取片工装在说明书摘要公布了：本申请公开了一种晶圆取片工装，涉及半导体设备技术领域，该工装包括设于石墨工件上的导向部以及与导向部配合的取片件，石墨工件的第一表面贴装有介质层，介质层背离第一表面的一侧贴装有晶圆，取片件包括横梁片，横梁片贴合于第一表面，并沿导向部的导向方向朝介质层运动，横梁片可穿入在介质层与第一表面之间，以使介质层与第一表面分离。本申请可避免与晶圆直接接触，使晶圆在取片时受力更加均匀，提高晶圆取片时的稳定性和合格率。
本实用新型一种晶圆取片工装在权利要求书中公布了：1.一种晶圆取片工装，其特征在于，包括设于石墨工件1上的导向部以及与所述导向部配合的取片件2，所述石墨工件1的第一表面贴装有介质层4，所述介质层4背离所述第一表面的一侧贴装有晶圆3，所述取片件2包括横梁片21，所述横梁片21贴合于所述第一表面，并沿所述导向部的导向方向朝所述介质层4运动，所述横梁片21可穿入在所述介质层4与所述第一表面之间，以使所述介质层4与所述第一表面分离。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人烟台齐新半导体技术研究院有限公司，其通讯地址为：264006 山东省烟台市自由贸易试验区烟台片区南昌大街6号1#厂房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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