成都路维光电有限公司李刚获国家专利权
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龙图腾网获悉成都路维光电有限公司申请的专利一种紫外曝光去胶辅助装置及去胶系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223650896U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520126693.2，技术领域涉及：G03F7/36；该实用新型一种紫外曝光去胶辅助装置及去胶系统是由李刚;孙多卫;郑宇辰设计研发完成，并于2025-01-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种紫外曝光去胶辅助装置及去胶系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种紫外曝光去胶辅助装置及去胶系统，所述紫外曝光去胶辅助装置包括箱体、夹具和光源；箱体具有适配于夹具的侧开口和适配于光源的顶面开口，相应地，夹具通过侧开口滑动设置在箱体上，光源通过顶面开口设置在箱体上；夹具具有滑动至箱体外的取放工位和遮蔽侧开口的曝光工位，相应地，夹具用于控制侧开口的开闭；光源用于提供紫外光。所述去胶系统包括所述紫外曝光去胶辅助装置。用于掩膜版时，所述紫外曝光去胶辅助装置及去胶系统单次曝光时间为30秒左右即可全面分解光刻胶，曝光效率高；光源选用紫外点阵LED光源，对整个掩膜版表面形成均匀光强分布，光照均匀性，曝光的均匀性好，曝光后脱胶方便且残留少。
本实用新型一种紫外曝光去胶辅助装置及去胶系统在权利要求书中公布了：1.一种紫外曝光去胶辅助装置，其特征在于，包括箱体100、夹具200和光源300； 箱体100具有适配于夹具200的侧开口101和适配于光源300的顶面开口102，相应地，夹具200通过侧开口101滑动设置在箱体100上，光源300通过顶面开口102设置在箱体100上； 夹具200具有滑动至箱体100外的取放工位和遮蔽侧开口101的曝光工位，相应地，夹具200用于控制侧开口101的开闭；光源300用于提供紫外光。
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