烟台齐新半导体技术研究院有限公司杨世鑫获国家专利权
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龙图腾网获悉烟台齐新半导体技术研究院有限公司申请的专利一种显影装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223650895U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423274905.6,技术领域涉及:G03F7/30;该实用新型一种显影装置是由杨世鑫设计研发完成,并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种显影装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种显影装置,包括:操作箱;液槽,设于操作箱内,用于放置显影液;动力组件,连接有用于放置待处理芯片的承载件,动力组件至少用于带动承载件移动,以使待处理芯片伸入或移出液槽;控制器,设于操作箱且信号连接动力组件,用于控制承载件的移动。上述显影装置,可通过机械化作业代替人工手动作业带来的芯片显影结果差异性,使不规则的芯片的显影过程可统一控制,提高精度,增加容错率。
本实用新型一种显影装置在权利要求书中公布了:1.一种显影装置,其特征在于,包括: 操作箱1; 液槽2,设于所述操作箱1内,用于放置显影液; 动力组件01,连接有用于放置待处理芯片的承载件3,所述动力组件至少用于带动所述承载件3移动,以使所述待处理芯片伸入或移出所述液槽2; 控制器10,设于所述操作箱1且信号连接所述动力组件01,用于控制所述承载件3的移动。
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