苏州大学周杰获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉苏州大学申请的专利一种光刻验证机台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223650894U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202522188345.0，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种光刻验证机台是由周杰;王涛;李佳益;陆正阳;许峰;曹冰;孙倜设计研发完成，并于2025-10-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻验证机台在说明书摘要公布了：本实用新型公开了无掩模光刻领域中的一种光刻验证机台其包括光源调节模块，光源调节模块包括多个可独立调节的第一调节单元，多个第一调节单元的调节端连接有光源；镜头调节模块，所述镜头调节模块包括多个可独立调节的第二调节单元，多个第二调节单元的调节端连接有镜头安装板，所述镜头安装板设于所述光源的传播路径上；样片调节模块，所述样片调节模块包括可调节的样片载物台；检焦模块，所述检焦模块的入口端对应光源设置；本申请中第一调节单元对光源的位置进行位置的调节，第二调节单元对光刻镜头进行位置的调节，增加了装置可调自由度，从而能够完成基于光源的无掩模光刻机的制备试样阶段中的光刻验证功能。
本实用新型一种光刻验证机台在权利要求书中公布了：1.一种光刻验证机台，其特征在于，包括： 光源调节模块，所述光源调节模块包括多个可独立调节的第一调节单元和调节基板，调节基板连接多个所述第一调节单元的调节端；所述调节基板连接有光源； 镜头调节模块，所述镜头调节模块包括多个可独立调节的第二调节单元，多个所述第二调节单元的调节端均连接镜头安装板，所述镜头安装板设于所述光源的传播路径上； 样片调节模块，所述样片调节模块包括可调节的样片载物台，所述样片载物台设于所述光源的传播路径上； 检焦模块，所述检焦模块的入口端对应所述光源设置，用于获取实时光刻图像，其中所述光源穿过所述镜头调节模块、样片调节模块进入所述检焦模块。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州大学，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市工业园区仁爱路199号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励