江苏中科汉韵半导体有限公司黄云辉获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏中科汉韵半导体有限公司申请的专利刻蚀机真空腔体检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223650045U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423247620.3，技术领域涉及：G01L21/00；该实用新型刻蚀机真空腔体检测装置是由黄云辉;胡博文;张颢设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本刻蚀机真空腔体检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于真空腔体检测仪技术领域，具体涉及刻蚀机真空腔体检测装置，包括底板和安装在底板一侧的卡箍板，所述卡箍板的内部安装有气囊管，所述气囊管的顶端一侧连接有压力表，所述压力表的另一侧连接有软管阀，所述软管阀的另一端连接有软管，所述软管的另一端连接有检测阀；所述软管的表面连接有管套，所述管套的外侧壁连接有连接板，本实用新型通过将软管弯折放置进定位块和夹持板之间，之后旋转螺纹杆，带动伸缩板沿着伸缩套板一侧开口向内移动，进而带动夹持板朝着收纳的软管进行靠近，之后并于软管挤压稳定，进而方便将散乱的软管进行收纳稳定，避免随意放置导致检测阀端损坏，确保真空腔体检测仪器后期使用的精准性。
本实用新型刻蚀机真空腔体检测装置在权利要求书中公布了：1.刻蚀机真空腔体检测装置，包括底板1和安装在底板1一侧的卡箍板2，其特征在于：所述卡箍板2的内部安装有气囊管3，所述气囊管3的顶端一侧连接有压力表4，所述压力表4的另一侧连接有软管阀6，所述软管阀6的另一端连接有软管7，所述软管7的另一端连接有检测阀8； 所述软管7的表面连接有管套9，所述管套9的外侧壁连接有连接板10，所述连接板10的另一端连接有定位块11，所述定位块11的另一端连接有伸缩套板12，所述伸缩套板12的开口处连接有伸缩板13，所述伸缩板13的另一端连接有夹持板14，所述伸缩板13的一侧连接有固定块15，所述固定块15的一侧连接有轴承16，所述轴承16的外侧连接有螺纹杆17，所述伸缩套板12的外侧壁连接有螺纹板18。
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