苏州航凯微电子技术有限公司盖广洪获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州航凯微电子技术有限公司申请的专利一种基于MEMS的压阻式触觉传感器获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223650027U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423202819.4,技术领域涉及:G01L1/18;该实用新型一种基于MEMS的压阻式触觉传感器是由盖广洪;贾雪松;颜逊设计研发完成,并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于MEMS的压阻式触觉传感器在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种基于MEMS的压阻式触觉传感器,其包括:受力机构,其包括触摸板及挤压柱,挤压柱凸出于触摸板设置;感应机构,其包括支撑框及悬臂梁,支撑框内部设有挤压空间,部分悬臂梁连接于支撑框,其余部分悬臂梁贴合于支撑框移动,挤压柱对应挤压悬臂梁,任意悬臂梁上均设有压敏电阻。本实用新型中,感应机构的支撑框能够为悬臂梁提供充足的挤压移动空间,并且其与部分悬臂之间能够实现三维相对移动,由此使得本传感器具有更高的检测传输精度以及更快的响应速度。相比于现阶段常规加工结构来说,本申请兼具使用灵活、精度高、响应快、寿命长以及适用范围广泛等显著优势,为触觉传感器的研发提供新思路。
本实用新型一种基于MEMS的压阻式触觉传感器在权利要求书中公布了:1.一种基于MEMS的压阻式触觉传感器,其特征在于:包括: 受力机构,所述受力机构包括触摸板以及多个挤压柱,多个所述挤压柱分别连接于所述触摸板,且沿所述触摸板厚度方向凸出设置; 感应机构,所述感应机构包括支撑框以及多个悬臂梁,所述支撑框内部设有多个挤压空间,多个所述悬臂梁分别连接于所述支撑框,且对应延伸至多个所述挤压空间中,在所述支撑框的厚度方向上,部分所述悬臂梁连接于所述支撑框,其余部分所述悬臂梁贴合于所述支撑框,且可相对于所述支撑框移动,多个所述挤压柱可挤压多个所述悬臂梁,以使其在对应的所述挤压空间中移动,任意所述悬臂梁上均设有至少一个压敏电阻。
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