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龙图腾网获悉广东鸿浩半导体设备有限公司申请的专利一种具有主动加热和低温冷却功能的吹扫机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223649549U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520035658.X，技术领域涉及：F25D31/00；该实用新型一种具有主动加热和低温冷却功能的吹扫机构是由刘滔设计研发完成，并于2025-01-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种具有主动加热和低温冷却功能的吹扫机构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种具有主动加热和低温冷却功能的吹扫机构，包括用于生产高温气体和低温气体的涡流管、机架和安装于所述机架上的一级分配模块与二级分配模块，其中，所述一级分配模块用于分配进入各腔室的高温气体，所述二级分配模块用于分配进入各腔室的低温气体；所述涡流管的高温输气端与一级分配模块的进气口之间通过预设有的一级输气管相连接，所述涡流管的低温输气端与二级分配模块的进气口之间通过预设有的二级输气管相连接，所述涡流管的进气端上设有用于调节输入涡流管内腔气体压力的压力调节器，其中，所述涡流管的进气端与压力调节器相螺纹连接；通过涡流管分流高温实现吹扫气体主动加热功能，低温实现气冷泵体功能。

本实用新型一种具有主动加热和低温冷却功能的吹扫机构在权利要求书中公布了：1.一种具有主动加热和低温冷却功能的吹扫机构，其特征在于：包括用于生产高温气体和低温气体的涡流管1、机架2和安装于所述机架2上的一级分配模块3与二级分配模块4，其中，所述一级分配模块3用于分配进入各腔室的高温气体，所述二级分配模块4用于分配进入各腔室的低温气体；所述涡流管1的高温输气端11与一级分配模块3的进气口之间通过预设有的一级输气管31相连接，所述涡流管1的低温输气端12与二级分配模块4的进气口之间通过预设有的二级输气管41相连接，所述涡流管1的进气端13上设有用于调节输入涡流管1内腔气体压力的压力调节器5，其中，所述涡流管1的进气端13与压力调节器5相螺纹连接；随所述进气端13输入外部气体，令所述涡流管1产生高温气体与低温气体；当所述涡流管1通过一级输气管31将高温气体输送至一级分配模块3内，通过所述二级输气管41将低温气体输送至二级分配模块4内，使所述一级分配模块3和二级分配模块4分别将对应的高温气体和低温气体输送至相应模块进行吹扫或冷却。

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