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拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司龙占勇获国家专利权

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龙图腾网获悉拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司申请的专利冷却组件、磁流体密封装置及外延设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223646679U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423157042.4,技术领域涉及:C30B25/12;该实用新型冷却组件、磁流体密封装置及外延设备是由龙占勇;韩雪岭;李洪;刘定财;黄耿斌;刘群设计研发完成,并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。

冷却组件、磁流体密封装置及外延设备在说明书摘要公布了:本实用新型属于CVD设备技术领域,公开了冷却组件、磁流体密封装置及外延设备,冷却组件包括冷却盘和散热翅片,冷却盘具有第一贯穿腔,冷却盘上设置有第一进液口和第一出液口,第一进液口和第一出液口通过设置于冷却盘内的第一流道连通;散热翅片包括互相连接的套筒部与环形的翅片部,散热翅片通过套筒部紧密套接于磁流体密封装置的旋转轴上;第一贯穿腔包括依次连接的大径段与小径段,翅片部置于大径段,套筒部置于小径段;磁流体密封装置及外延设备均包括上述的冷却组件,从而降低旋转轴以及磁流体密封装置整体的温度。

本实用新型冷却组件、磁流体密封装置及外延设备在权利要求书中公布了:1.冷却组件,其特征在于,包括: 冷却盘11,所述冷却盘11具有第一贯穿腔111,所述第一贯穿腔111包括依次连接的大径段与小径段,所述冷却盘11上设置有第一进液口112和第一出液口113,所述第一进液口112和所述第一出液口113通过设置于所述冷却盘11内的第一流道114连通; 散热翅片12,所述散热翅片12包括互相连接的套筒部122与环形的翅片部123,所述翅片部123置于所述大径段,所述套筒部122置于所述小径段,所述散热翅片12通过所述套筒部122紧密套接于磁流体密封装置的旋转轴22上。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司,其通讯地址为:510535 广东省广州市黄埔区瑞泰路2号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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