拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司龙占勇获国家专利权
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龙图腾网获悉拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司申请的专利密封传动机构及外延装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223646678U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423156228.8,技术领域涉及:C30B25/12;该实用新型密封传动机构及外延装置是由龙占勇;韩雪岭;李洪;刘定财;黄耿斌;刘群设计研发完成,并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本密封传动机构及外延装置在说明书摘要公布了:本实用新型属于CVD设备技术领域,公开了密封传动机构及外延装置,密封传动机构包括旋转轴、磁偶联组件以及冷却套,磁偶联组件包括安置腔体,磁偶联组件包括安置腔体,安置腔体具有第一腔,第一腔外设置有主动转子,第一腔内具有从动转子,主动转子能够连接驱动件,旋转轴连接于从动转子;冷却套密封连接于安置腔体上,使冷却套的第一端连通第一腔,旋转轴贯穿冷却套,冷却套的第二端能够连接于外部腔体;冷却套设置有第一进液孔与第一出液孔,第一进液孔与第一出液孔通过设置于冷却套内的第一流道连通,外延装置采用上述密封传动机构,使其避免由于高温造成密封失效,且能够对旋转轴以及从动转子辐射散热,使其能够正常运行。
本实用新型密封传动机构及外延装置在权利要求书中公布了:1.密封传动机构,其特征在于,包括: 旋转轴1; 磁偶联组件2,所述磁偶联组件2包括安置腔体21,所述安置腔体21具有第一腔25,所述第一腔25外设置有主动转子23,所述第一腔25内具有从动转子24,所述主动转子23能够连接驱动件,所述旋转轴1连接于所述从动转子24,所述主动转子23能够带动所述从动转子24旋转; 冷却套3,所述冷却套3密封连接于所述安置腔体21上,所述冷却套3的第一端连通于所述第一腔25,所述旋转轴1贯穿所述冷却套3,所述冷却套3的第二端能够密封连接于外部腔体; 所述冷却套3设置有第一进液孔31与第一出液孔32,所述第一进液孔31与所述第一出液孔32通过设置于所述冷却套3内的第一流道33连通。
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