浙江晶盛机电股份有限公司;浙江晶信绿钻科技有限公司曹建伟获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江晶盛机电股份有限公司;浙江晶信绿钻科技有限公司申请的专利MPCVD载体及MPCVD装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223646639U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423119008.8，技术领域涉及：C23C16/511；该实用新型MPCVD载体及MPCVD装置是由曹建伟;朱亮;倪军夫;高宇;严嘉文;李玉刚设计研发完成，并于2024-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本MPCVD载体及MPCVD装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种MPCVD载体及MPCVD装置，属于微波等离子体技术领域，解决了现有技术金刚石异质单晶形核效率较低的问题。本申请包括基台，所述基台用于承载工件；加热组件，所述加热组件包括：加热器，所述加热器设置于所述基台下方，用于向所述基台供热；加热电极，所述加热电极与所述加热器电连接；以及偏压组件，所述偏压组件包括：偏压导电件，所述偏压导电件位于所述基台下方，且所述偏压导电件与所述基台电连接；偏压导线，所述偏压导线与所述偏压导电件电连接。本申请通过设置加热组件和偏压组件，为基台提供了加热和偏压环境，从而保证基台上方的等离子体浓度与金刚石异质形核的最佳所需浓度基本符合，可有效提高金刚石的异质单晶形核效率。
本实用新型MPCVD载体及MPCVD装置在权利要求书中公布了：1.一种MPCVD载体，其特征在于，包括： 基台100，所述基台100用于承载工件； 加热组件200，所述加热组件200包括： 加热器210，所述加热器210设置于所述基台100下方，用于向所述基台100供热； 加热电极220，所述加热电极220与所述加热器210电连接；以及偏压组件300，所述偏压组件300包括： 偏压导电件310，所述偏压导电件310设置于所述加热器210外周，且所述偏压导电件310与所述基台100电连接； 偏压导线320，所述偏压导线320与所述偏压导电件310电连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江晶盛机电股份有限公司;浙江晶信绿钻科技有限公司，其通讯地址为：312300 浙江省绍兴市上虞区曹娥街道五星西路99号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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