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龙图腾网获悉郑州势垒科技有限公司申请的专利一种用于MPCVD设备的冷却基片台机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223646638U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520239370.4，技术领域涉及：C23C16/458；该实用新型一种用于MPCVD设备的冷却基片台机构是由许坤;曹雷起;杨鹏;丁佩;段向阳设计研发完成，并于2025-02-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于MPCVD设备的冷却基片台机构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于MPCVD设备的冷却基片台机构，涉及MPCVD设备技术领域，包括基片台和注水组件；基片台：上端开设有均匀分布的安装槽，所述安装槽的内部安装有第二温度传感器，所述基片台的内部开设有均匀分布的环形导流槽和连接槽，所有的环形导流槽通过所有的连接槽相连，所述基片台圆周面的右端开设有排水口，所述排水口与边部的环形导流槽相通，所述排水口的内部固定有排水管，所述排水管的圆周面上安装有第三电磁阀，所述基片台的端面上安装有吸附组件；注水组件：包含连接板、储存箱、第一温度传感器、水泵、注水管和第一电磁阀，能够在冷却的过程中根据工艺需求自动控制水流量。

本实用新型一种用于MPCVD设备的冷却基片台机构在权利要求书中公布了：1.一种用于MPCVD设备的冷却基片台机构，其特征在于：包括基片台1和注水组件5； 基片台1：上端开设有均匀分布的安装槽，所述安装槽的内部安装有第二温度传感器12，所述基片台1的内部开设有均匀分布的环形导流槽2和连接槽3，所有的环形导流槽2通过所有的连接槽3相连，所述基片台1圆周面的右端开设有排水口，所述排水口与边部的环形导流槽2相通，所述排水口的内部固定有排水管4，所述排水管4的圆周面上安装有第三电磁阀11，所述基片台1的端面上安装有吸附组件6； 注水组件5：包含连接板51、储存箱52、第一温度传感器53、水泵54、注水管55和第一电磁阀56，所述基片台1的下端固定有连接板51，所述连接板51的下侧固定有储存箱52，所述储存箱52的内部安装有第一温度传感器53，所述储存箱52的内部安装有水泵54，所述水泵54的出水口的内部固定有注水管55，所述基片台1下端的中部开设有注水槽，所述注水管55的上端固定在注水槽的内部，所有的连接槽3均与注水槽相通，所述注水管55的圆周面上安装有第一电磁阀56，所述储存箱52的侧面安装有冷却组件8，所述储存箱52的侧面安装有抽气组件7，所述抽气组件7与吸附组件6相连； 其中：所述第一电磁阀56和第三电磁阀11的输入端均电连接外部的PLC控制器的输出端，所述第一温度传感器53和第二温度传感器12均与外部的PLC控制器双向电连接。

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