芯恩(青岛)集成电路有限公司王金朋获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利气体注入管、装置及炉管装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223646634U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520043499.8，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型气体注入管、装置及炉管装置是由王金朋设计研发完成，并于2025-01-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本气体注入管、装置及炉管装置在说明书摘要公布了：本公开提供了一种气体注入管、装置及炉管装置，涉及半导体工艺技术领域。该气体注入管，包括：管体；管体包括水平部和竖直部，水平部与竖直部连通，竖直部位于炉管中；平直型喷口；平直型喷口位于竖直部的第一区域；收敛型喷口；收敛型喷口位于竖直部的第二区域；其中，在竖直部的延伸方向上，第一区域位于第二区域的上方。根据本公开的方案，通过在管体的不同区域设置不同类型的喷口，能够在管内的不同区域注入质量不同的气体，从而提高不同区域薄膜厚度的一致性。
本实用新型气体注入管、装置及炉管装置在权利要求书中公布了：1.一种气体注入管，其特征在于，包括： 管体；所述管体包括水平部和竖直部，所述水平部与所述竖直部连通，所述竖直部位于炉管中； 平直型喷口；所述平直型喷口位于所述竖直部的第一区域； 收敛型喷口；所述收敛型喷口位于所述竖直部的第二区域； 其中，在所述竖直部的延伸方向上，所述第一区域位于所述第二区域的上方。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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