珠海富山爱旭太阳能科技有限公司;浙江爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技有限公司;天津爱旭太阳能科技有限公司;滁州爱旭太阳能科技有限公司;山东爱旭太阳能科技有限公司雷雪颜获国家专利权
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龙图腾网获悉珠海富山爱旭太阳能科技有限公司;浙江爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技有限公司;天津爱旭太阳能科技有限公司;滁州爱旭太阳能科技有限公司;山东爱旭太阳能科技有限公司申请的专利一种ALD镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223646632U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423322570.0，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种ALD镀膜设备是由雷雪颜;代涛;肖浩东;郑飞;王永谦;陈刚设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种ALD镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型适用于光伏技术领域，提供了一种ALD镀膜设备包括：TMA供应系统，TMA供应系统用于提供AlOx沉积所需的TMA气体；H2O供应系统，H2O供应系统用于提供AlOx沉积所需的H2O气体；O3供应系统，O3供应系统用于在AlOx沉积前对硅片表面进行预清洗及预氧化；以及ALD反应舱，TMA供应系统、H2O供应系统和O3供应系统分别通过第一管道、第二管道和第三管道与ALD反应舱连通，第一管道、第二管道和第三管道上分别设置开关阀。通过设置O3供应系统，在AlOx沉积前将O3气体通入到ALD反应舱，用O3对硅片进行预清洗和预氧化，AlOx薄膜的均匀性和质量会显著提高。
本实用新型一种ALD镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种ALD镀膜设备，其特征在于，包括： TMA供应系统，所述TMA供应系统用于提供AlOx沉积所需的TMA气体； H2O供应系统，所述H2O供应系统用于提供AlOx沉积所需的H2O气体； O3供应系统，所述O3供应系统用于在AlOx沉积前对硅片表面进行预清洗及预氧化；以及ALD反应舱，所述TMA供应系统、所述H2O供应系统和所述O3供应系统分别通过第一管道、第二管道和第三管道与所述ALD反应舱连通，所述第一管道、所述第二管道和所述第三管道上分别设置开关阀。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人珠海富山爱旭太阳能科技有限公司;浙江爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技有限公司;天津爱旭太阳能科技有限公司;滁州爱旭太阳能科技有限公司;山东爱旭太阳能科技有限公司，其通讯地址为：519000 广东省珠海市斗门区富山工业园珠峰大道西6号139室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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