苏州岚创科技有限公司樊红玉获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州岚创科技有限公司申请的专利气体分离导入装置及ALD镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223646631U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423280943.2，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型气体分离导入装置及ALD镀膜设备是由樊红玉;徐胜;李景会设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本气体分离导入装置及ALD镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种气体分离导入装置及ALD镀膜设备，其中，气体分离导入装置包括：导气盘，所述导气盘上设有第一导流道和第二导流道，所述导气盘的底部设有与所述第一导流道相连通的第一匀气道、以及与所述第二导流道相连通的第二匀气道，所述第一匀气道和所述第二匀气道用于导入分别不同气体，且所述第一匀气道上设有若干第一匀气孔、所述第二匀气道上设有若干第二匀气孔；设置于所述导气盘一侧的供气组件，所述供气组件包括：与所述第一导流道相连通的第一供气管路、以及与所述第二导流道相连通的第二供气管路，所述第一供气管路和所述第二供气管路分别与供气设备相连通。本实用新型实现将两种不同气体分别均匀导出，保证进气的均匀性。
本实用新型气体分离导入装置及ALD镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种气体分离导入装置，其特征在于，包括： 导气盘，所述导气盘上设有第一导流道和第二导流道，所述导气盘的底部设有与所述第一导流道相连通的第一匀气道、以及与所述第二导流道相连通的第二匀气道，所述第一匀气道和所述第二匀气道用于导入分别不同气体，且所述第一匀气道上设有若干第一匀气孔、所述第二匀气道上设有若干第二匀气孔； 设置于所述导气盘一侧的供气组件，所述供气组件包括：与所述第一导流道相连通的第一供气管路、以及与所述第二导流道相连通的第二供气管路，所述第一供气管路和所述第二供气管路分别与供气设备相连通。
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