东莞市三体精密工具有限公司陈飞获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市三体精密工具有限公司申请的专利一种化学气相沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223646630U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422970419.1，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种化学气相沉积设备是由陈飞;张杰;张奇设计研发完成，并于2024-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种化学气相沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种化学气相沉积设备，涉及碳化硅化学气相沉积技术领域，包括沉淀设备、放置架，沉淀设备的内部转动连接有第一转轴，沉淀设备的底部固定安装有第一电机，第一电机的输出端与第一转轴的一端固定连接，第一转轴的顶部固定安装有卡块，放置架的底部开设有卡槽，卡槽与卡块相适配，本实用新型的有益效果为：通过利用齿条移动可以带动一侧的限位块进行移动，使其卡入到限位槽的内部，完成卡块的限位工作，由此可以根据情况对放置架进行拆卸和安装，方便进行拆卸和安装，通过利用第一电机带动卡块进行转动，可以带动放置架进行旋转，将其进行均匀的分布，通过分流管可使气体在输入沉淀设备中均匀分布，提高了沉积效率。
本实用新型一种化学气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种化学气相沉积设备，包括沉淀设备1、放置架5，其特征在于：所述沉淀设备1的内部转动连接有第一转轴4，所述沉淀设备1的底部固定安装有第一电机3，所述第一电机3的输出端与第一转轴4的一端固定连接，所述第一转轴4的顶部固定安装有卡块18，所述放置架5的底部开设有卡槽15，所述卡槽15与卡块18相适配，所述放置架5的内部开设有限位槽16，所述卡块18的内部转动连接有第二转轴24，所述第二转轴24的外侧固定套接有齿轮12，所述卡块18的内部开设有滑槽23，所述滑槽23的内部滑动连接有滑块22，所述滑块22的一侧固定安装有齿条14，所述齿条14的一端固定连接有限位块17，所述齿条14与齿轮12啮合连接。
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