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通威太阳能(成都)有限公司左宏伟获国家专利权

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龙图腾网获悉通威太阳能(成都)有限公司申请的专利硅片的镀膜装置及硅片生产线获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223646621U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423026830.X,技术领域涉及:C23C14/50;该实用新型硅片的镀膜装置及硅片生产线是由左宏伟;王陈;陈锐;孙瑞设计研发完成,并于2024-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。

硅片的镀膜装置及硅片生产线在说明书摘要公布了:本申请涉及一种硅片的镀膜装置及硅片生产线。镀膜完毕的硅片随载板移动至第一出料机构时,第一移动机构驱动吸头靠近于载板,并能带动吸头运动至载板的各个区域位置,能有效去除载板及硅片上的异物;使得载板及硅片上的靶材碎渣等异物去除后再运动至第二出料机构,硅片卸载机构对运动至第二出料机构的载板上的硅片进行卸载操作,卸载后的硅片送入到后续工序中。由于硅片及载板上的异物被有效去除,这样硅片卸载机构不会接触到异物,便不会因为附着靶材碎渣等异物而导致划伤硅片,可使隐裂几率降低,吸盘印迹减少,大大增加产线良率,同时能减小带有异物的硅片进入到丝网印刷工艺中,进而能减小丝网印刷工艺中导致的爆板缺陷,从而降低维护成本。

本实用新型硅片的镀膜装置及硅片生产线在权利要求书中公布了:1.一种硅片的镀膜装置,其特征在于,所述硅片的镀膜装置包括: 主机10,所述主机10包括依次设置的进料机构11、第一过渡腔12、镀膜工艺腔13及第二过渡腔14,所述进料机构11用于将待镀膜处理的硅片91放置于载板90上并使得承载所述硅片91的所述载板90输送进入到所述第一过渡腔12,承载所述硅片91的所述载板90经过所述第一过渡腔12后进入到所述镀膜工艺腔13,所述镀膜工艺腔13用于对所述硅片91进行镀膜处理,镀膜处理后的所述硅片91及所述载板90进入到所述第二过渡腔14; 第一出料机构20,所述第一出料机构20的入料端与所述第二过渡腔14的出料端对接,所述第一出料机构20用于接收所述第二过渡腔14输出的所述载板90,以及用于传输所述载板90及位于所述载板90上的硅片91; 除尘装置30,所述除尘装置30包括第一移动机构31及与所述第一移动机构31相连并设置于所述第一出料机构20上方的吸头32,所述第一移动机构31能带动所述吸头32靠近或远离所述载板90,以及带动所述吸头32移动至所述载板90上的各个区域位置,所述吸头32用于吸附所述载板90及所述硅片91上的异物93; 第二出料机构40,所述第二出料机构40与所述第一出料机构20的出料端对接,所述第二出料机构40用于接收所述第一出料机构20的出料端输出的所述载板90;及硅片卸载机构50,所述硅片卸载机构50用于卸载所述第二出料机构40的所述载板90上的所述硅片91。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人通威太阳能(成都)有限公司,其通讯地址为:610299 四川省成都市高新综合保税区双流园区综保横路一段;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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