山东兴华半导体有限责任公司别志强获国家专利权
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龙图腾网获悉山东兴华半导体有限责任公司申请的专利一种大束流离子注入机均匀性提升机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223646620U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520214895.2，技术领域涉及：C23C14/48；该实用新型一种大束流离子注入机均匀性提升机构是由别志强设计研发完成，并于2025-02-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种大束流离子注入机均匀性提升机构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体为一种大束流离子注入机均匀性提升机构，包括注入机主体，所述注入机主体内部的处理腔底端设有承载平台，所述注入机主体内部的处理腔顶端设有导架，所述导架上设有驱动座，所述驱动座的底部设有由旋转座和旋转板构成的转动机构，该转动机构的底部对称设有可横向调节的固定框，所述固定框的内部设置有可翻转角度的导向臂，所述导向臂上安装有用于引导离子束的离子束引导机构。该大束流离子注入机均匀性提升机构能够提高离子束在硅片表面分布的均匀性，减少了边缘与中心区域之间的剂量差异，从而显著提高离子注入的一致性和工艺质量。
本实用新型一种大束流离子注入机均匀性提升机构在权利要求书中公布了：1.一种大束流离子注入机均匀性提升机构，包括注入机主体1，所述注入机主体1内部的处理腔底端设有承载平台2，其特征在于：所述注入机主体1内部的处理腔顶端设有导架3，所述导架3上设有驱动座4，所述驱动座4的底部设有由旋转座5和旋转板6构成的转动机构，该转动机构的底部对称设有可横向调节的固定框7，所述固定框7的内部设置有可翻转角度的导向臂8，所述导向臂8上安装有用于引导离子束的离子束引导机构9。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人山东兴华半导体有限责任公司，其通讯地址为：276800 山东省日照市高新技术产业开发区新一代信息技术产业园3号楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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