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龙图腾网获悉仁烁光能(常熟)有限公司;仁烁光能(苏州)有限公司申请的专利磁控溅射设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223646619U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423187170.3，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型磁控溅射设备是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本磁控溅射设备在说明书摘要公布了：本实用新型属于薄膜制备技术领域，公开了一种磁控溅射设备，包括反应腔室和调整装置，调整装置包括：第一调整组件，包括第一连接件和第一齿轮，第一连接件设置于反应腔室内底壁，第一齿轮固定套设于第一连接件远离该内底壁的端部外周；第二调整组件，包括电机、第二连接件、第二齿轮和转盘，第二连接件连接于电机的输出轴，第二齿轮固定套设于第二连接件外周，转盘固定连接于第二连接件远离电机的一端，基板安装于转盘朝向阴极靶材的一面；电机能够驱动第二连接件绕自身中心轴线旋转，以使转盘和第二齿轮共同转动，第二齿轮与第一齿轮之间啮合传动，以使第二齿轮绕第一连接件的中心轴线旋转。本实用新型能够显著提升膜层的均匀性和精度。

本实用新型磁控溅射设备在权利要求书中公布了：1.磁控溅射设备，其特征在于，包括反应腔室100和调整装置200，所述反应腔室100的内壁间隔设置有多个阴极靶材300，所述调整装置200设置于所述反应腔室100内部，所述调整装置200用于安装待镀膜的基板400并带动所述基板400逐一经过多个所述阴极靶材300；所述调整装置200包括： 第一调整组件1，包括第一连接件11和第一齿轮12，所述第一连接件11设置于所述反应腔室100的内底壁且所述第一连接件11的中心轴线沿第一方向延伸，所述第一齿轮12固定套设于所述第一连接件11远离所述反应腔室100的内底壁的端部外周； 第二调整组件2，包括电机21、第二连接件22、第二齿轮23和转盘24，所述第二连接件22的中心轴线沿第二方向延伸，所述第二连接件22连接于所述电机21的输出轴，所述第二齿轮23固定套设于所述第二连接件22外周，所述转盘24固定连接于所述第二连接件22远离所述电机21的一端，所述基板400安装于所述转盘24朝向所述阴极靶材300的一面；所述电机21能够驱动所述第二连接件22绕自身中心轴线旋转，以使所述转盘24和所述第二齿轮23与所述第二连接件22共同转动，所述第二齿轮23与所述第一齿轮12之间啮合传动，以使所述第二齿轮23绕所述第一连接件11的中心轴线旋转；其中，所述第一方向与所述第二方向之间相互垂直。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人仁烁光能(常熟)有限公司;仁烁光能(苏州)有限公司，其通讯地址为：215513 江苏省苏州市常熟市碧溪街道电厂路79号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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