苏州赛森电子科技有限公司许志涛获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州赛森电子科技有限公司申请的专利一种真空镀膜设备机架获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223646614U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423323685.1，技术领域涉及：C23C14/22；该实用新型一种真空镀膜设备机架是由许志涛;田为进设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空镀膜设备机架在说明书摘要公布了：本申请公开了一种真空镀膜设备机架，涉及半导体设备技术领域，包括：机架，功能模块包括：强电控制系统和弱电控制系统；弱电控制系统包含电气信号传输与控制器，通过独立的弱点控制柜安装于机架的另一侧；管道柜，管道沿管道柜体内部布置并与设备腔体连接；通过在机架内布局功能模块，强电控制系统和弱电控制系统分别布置在机架外部的左右两侧，并通过独立的强电控制柜和弱电控制柜安装，内部采用模块化的插拔式连接件，简化了安装与维护；管道柜设置在控制柜上方，将管道隐藏布置并与设备腔体连接，提升了整体结构的紧凑性，解决真空镀膜设备机架布局设计空间利用率低问题，可以使提高真空镀膜设备机架布局设计空间的利用率。
本实用新型一种真空镀膜设备机架在权利要求书中公布了：1.一种真空镀膜设备机架，包括： 机架，所述机架结构包括多个立柱、横梁和底座； 其特征在于，所述机架内设置有功能模块，所述功能模块包括： 强电控制系统和弱电控制系统，所述强电控制系统和弱电控制系统分别布置在所述机架外部的左右两侧； 所述强电控制系统包括主电源配电及电气开关设备，通过独立的强电控制柜安装于所述机架的一侧，所述强电控制柜内设置有模块化的插拔式连接件； 所述弱电控制系统包含电气信号传输与控制器，通过独立的弱电控制柜安装于所述机架的另一侧，所述弱电控制柜内设置有模块化的插拔式连接件； 管道柜，所述管道柜设置在所述强电控制柜和所述弱电控制柜上方，管道沿所述管道柜体内部布置并与设备腔体连接。
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