广东欧莱高新材料股份有限公司文宏福获国家专利权
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龙图腾网获悉广东欧莱高新材料股份有限公司申请的专利一种用于制造晶硅异质结电池的栅线电极的掩膜版获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223646612U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423052718.3,技术领域涉及:C23C14/04;该实用新型一种用于制造晶硅异质结电池的栅线电极的掩膜版是由文宏福;李天柱;卢宽宽设计研发完成,并于2024-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于制造晶硅异质结电池的栅线电极的掩膜版在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种用于制造晶硅异质结电池的栅线电极的掩膜版,第一掩膜版的中部设置有第一下沉区,在第一下沉区的四周分别设置有第一下沉台阶,第一下沉区设置有多个间隔设置的栅线细缝,栅线细缝上下贯穿第一掩膜版,栅线细缝的宽度设置为5‑25um,本实用新型是在磁控溅射工艺或蒸发镀膜工艺中用于放置电池片并配合镀膜工艺在电池片的表面溅射得到相应形状的栅线细缝的第一掩膜版,本实用新型的第一掩膜版采用耐高温和耐腐蚀金属材料或碳纤维材料制备而成,采用第一掩膜版放置电池片,使用磁控溅射工艺或蒸发镀膜工艺制备HJT电池的金属化栅线电极,降低HJT电池生产成本,提高HJT电池光电转换效率。
本实用新型一种用于制造晶硅异质结电池的栅线电极的掩膜版在权利要求书中公布了:1.一种用于制造晶硅异质结电池的栅线电极的掩膜版,其特征在于:包括厚度为0.02‑3mm的第一掩膜版1,作为在溅射镀膜工艺中在电池片10的TCO薄膜的表面分步溅射形成多条宽度为5‑25um、高度为0.2um‑40um的太阳能电池栅线11的掩膜版,第一掩膜版1的中部设置有第一下沉区2,在第一下沉区2的四周分别设置有用于限制及放置电池片10的第一下沉台阶3,第一下沉台阶3的台阶面低于第一掩膜版1的顶面,第一下沉区2的顶面不高于第一下沉台阶3的台阶面,第一下沉区2设置有多个间隔设置的栅线细缝4,栅线细缝4上下贯穿第一掩膜版1,栅线细缝4的宽度设置为5‑25um,相邻两个栅线细缝4的间距设置为0.5mm‑3mm。
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