安徽越好电子装备有限公司蔡明慧获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽越好电子装备有限公司申请的专利双面真空镀膜系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223646611U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423086297.6，技术领域涉及：C23C14/02；该实用新型双面真空镀膜系统是由蔡明慧;徐建柱;黄俊凯;俞峰;沈纬徵设计研发完成，并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本双面真空镀膜系统在说明书摘要公布了：本申请公开一种双面真空镀膜系统，包括依次密封衔接的第一冷却腔、第一工艺腔、第二工艺腔和第二冷却腔，第二工艺腔用于对第一工件进行镀膜，第一工艺腔用于对第二工件进行镀膜，第一冷却腔具有工件进出双面真空镀膜系统的进出料口，第一冷却腔用于接收并冷却来自第一工艺腔内在镀膜过程中超过预设温度的第二工件，第二冷却腔用于接收并冷却来自第二工艺腔内在镀膜过程中超过预设温度的第一工件；第一工艺腔和第二工艺腔中的一者设置有离子源，以兼作清洗工件的清洗腔；双面真空镀膜系统还设置有用于传送工件往返各腔室的传送组件。本申请的双面真空镀膜系统能够提升处理工件的效率。
本实用新型双面真空镀膜系统在权利要求书中公布了：1.双面真空镀膜系统，其特征在于，包括依次密封衔接的第一冷却腔、第一工艺腔、第二工艺腔和第二冷却腔，所述第二工艺腔用于对第一工件进行镀膜，所述第一工艺腔用于对第二工件进行镀膜，所述第一冷却腔具有工件进出所述双面真空镀膜系统的进出料口，所述第一冷却腔用于接收并冷却来自所述第一工艺腔内在镀膜过程中超过预设温度的第二工件，所述第二冷却腔用于接收并冷却来自所述第二工艺腔内在镀膜过程中超过预设温度的第一工件；所述第一工艺腔和所述第二工艺腔中的一者设置有离子源，以兼作清洗工件的清洗腔；所述双面真空镀膜系统还设置有用于传送工件往返各腔室的传送组件。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人安徽越好电子装备有限公司，其通讯地址为：239050 安徽省滁州市南谯区乌衣镇双迎路790号3栋；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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