甬矽半导体(宁波)有限公司何正鸿获国家专利权
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龙图腾网获悉甬矽半导体(宁波)有限公司申请的专利研磨盘获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223643492U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423199844.1,技术领域涉及:B24B37/12;该实用新型研磨盘是由何正鸿;韩新;田旭;陈泽设计研发完成,并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本研磨盘在说明书摘要公布了:本申请提供的一种研磨盘,涉及半导体设备技术领域。该研磨盘包括底座和研磨头。研磨头设于底座上;研磨头可相对底座转动。研磨头远离底座的一侧设有研磨刀具和排液槽,从研磨头的中心至边缘的方向,排液槽的宽度逐渐增加。该研磨盘可以及时排出研磨液以及研磨颗粒,降低研磨颗粒对晶圆表面造成的划痕损伤或隐裂风险。
本实用新型研磨盘在权利要求书中公布了:1.一种研磨盘,其特征在于,包括: 底座; 研磨头,所述研磨头设于所述底座上;所述研磨头可相对所述底座转动; 所述研磨头远离所述底座的一侧设有研磨刀具和排液槽,从所述研磨头的中心至边缘的方向,所述排液槽的宽度逐渐增加。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人甬矽半导体(宁波)有限公司,其通讯地址为:315400 浙江省宁波市余姚市中意宁波生态园滨海大道60号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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