无锡盛建精密机械制造有限公司沈磊获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡盛建精密机械制造有限公司申请的专利一种具有清洁功能的晶圆加工用切面抛光装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223643481U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423302167.1，技术领域涉及：B24B29/02；该实用新型一种具有清洁功能的晶圆加工用切面抛光装置是由沈磊设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有清洁功能的晶圆加工用切面抛光装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种具有清洁功能的晶圆加工用切面抛光装置，包括箱体、加工台面和抛光台，所述加工台面的顶部设置有立板，立板一侧的顶部通过固定架安装有气缸，所述气缸的输出端通过悬架安装有抛光台，且所述加工台面的中间位置通过轴承安装有中心套管，中心套管的顶部设置有承载台，承载台的内侧设置有真空吸盘。实用新型采用多级分段抛光技术，通过将抛光头划分为多个模块，并针对每个模块采用不同的抛光参数，实现了粗抛光与细抛光的有序衔接，通过精确调整两个阶段的抛光时间和力度，本实用新型成功实现了高效率与高清洁度的和谐统一，这在以往的抛光技术中是难以达到的。
本实用新型一种具有清洁功能的晶圆加工用切面抛光装置在权利要求书中公布了：1.一种具有清洁功能的晶圆加工用切面抛光装置，其特征在于：包括箱体1、加工台面8和抛光台14，所述加工台面8的顶部设置有立板11，立板11一侧的顶部通过固定架12安装有气缸13，所述气缸13的输出端通过悬架22安装有抛光台14，且所述气缸13输出端与悬架22的连接处安装有压力传感器21，所述抛光台14的底部并列设置有粗抛光头27和细抛光头28，且所述抛光台14的一端设置电机二15，所述电机二15的输出端连接贯穿抛光台14的连杆23，所述连杆23的顶端设置有清洁滚筒9，所述清洁滚筒9外侧均匀设置软刷毛24，所述加工台面8的底部设置有箱体1，且所述加工台面8的中间位置通过轴承安装有中心套管4，中心套管4的顶部设置有承载台16，承载台16的内侧设置有真空吸盘6，所述真空吸盘6通过导管一3与箱体1内部设置的气泵2连接，所述气泵2还连接有导管二5，导管二5的另一端通过弹簧软管501与气缸13连接。
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