合光光掩模科技(安徽)有限公司马振振获国家专利权
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龙图腾网获悉合光光掩模科技(安徽)有限公司申请的专利颗粒物去除治具以及半导体制造设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223641865U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423243813.1，技术领域涉及：B01L3/02；该实用新型颗粒物去除治具以及半导体制造设备是由马振振;张健澄设计研发完成，并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本颗粒物去除治具以及半导体制造设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种颗粒物去除治具以及半导体制造设备，颗粒物去除治具包括基座、移动组件、滴管以及水平调节组件；移动组件和水平调节组件均设置于基座上；移动组件包括二段移动臂和限位装置；二段移动臂至少能够沿垂直于基座的方向移动；二段移动臂的一端与滴管连接，用于驱动滴管移动至掩模保护膜上的颗粒物的上方；二段移动臂的另一端设置有限位装置，限位装置用于限制二段移动臂沿垂直于基座的方向上的位移；水平调节组件用于承载掩模，且用于在化学液剂滴落在颗粒物上后，调整掩模的水平度，以使化学液剂滚动至边沿。使用上述颗粒物去除治具，能够规避现有技术中无法控制滴管的高度、化学液滴的用量以及化学液滴的滚动速度的问题。
本实用新型颗粒物去除治具以及半导体制造设备在权利要求书中公布了：1.一种颗粒物去除治具，其特征在于，包括：基座、移动组件、滴管以及水平调节组件； 所述移动组件和所述水平调节组件均设置于所述基座上； 所述移动组件包括二段移动臂和限位装置；所述二段移动臂至少能够沿垂直于所述基座的方向移动； 所述二段移动臂的一端与所述滴管连接，用于驱动所述滴管移动至掩模保护膜上的颗粒物的上方；所述二段移动臂的另一端设置有所述限位装置，所述限位装置用于限制所述二段移动臂沿垂直于所述基座的方向上的位移； 所述滴管用于向掩模保护膜上的颗粒物提供化学液剂； 所述水平调节组件用于承载掩模，且所述水平调节组件用于在所述化学液剂滴落在颗粒物上后，调整所述掩模的水平度，以使所述化学液剂滚动至所述掩模保护膜的边沿。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人合光光掩模科技(安徽)有限公司，其通讯地址为：230601 安徽省合肥市经济技术开发区空港经济示范区硕放路1号新桥集成电路科技园研发楼103-3室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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