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龙图腾网获悉南通艾佩科半导体材料有限公司申请的专利一种用于磷烷混合气处理的反应室获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223641612U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423243100.5，技术领域涉及：B01D53/78；该实用新型一种用于磷烷混合气处理的反应室是由刘璧;鲍坚仁;徐学强设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于磷烷混合气处理的反应室在说明书摘要公布了：本申请公开了一种用于磷烷混合气处理的反应室，包括支撑台和反应室，所述支撑台的底部两侧均连接有支撑脚，所述支撑台的顶部安装有反应室，所述反应室的左下侧连接有入气口，所述反应室的内部靠左侧竖直设置有分隔板，所述反应室的左上侧安装有第一储存室，所述反应室的左侧壁上并位于第一储存室的正下方设置有第二储存室。本实用新型通过设置多级过滤和加热结构，使得对磷烷混合气处理更为高效且效果好，另外通过在入气口的内部设置过滤网和活性炭吸附层，从而可以对磷烷混合气中混有的大颗粒直径杂质进行前端过滤掉，减轻了后续过滤除杂的负担，且提高了磷烷混合气的处理效果。

本实用新型一种用于磷烷混合气处理的反应室在权利要求书中公布了：1.一种用于磷烷混合气处理的反应室，包括支撑台和反应室，其特征在于：所述支撑台的底部两侧均连接有支撑脚，所述支撑台的顶部安装有反应室，所述反应室的左下侧连接有入气口，所述反应室的内部靠左侧竖直设置有分隔板，所述反应室的左上侧安装有第一储存室，所述反应室的左侧壁上并位于第一储存室的正下方设置有第二储存室，所述反应室的内部并位于分隔板的左侧设置有第一喷淋管道，所述第一喷淋管道的正下方设置有第二喷淋管道，所述第一喷淋管道和第二喷淋管道的底部分别设置有四个第一喷嘴和四个第二喷嘴，所述第一喷淋管道和第二喷淋管道的一端均通过连接件与反应室的内侧壁相连接，所述第一储存室和第二储存室的内部分别设置有第一输送管道和第二输送管道，所述第一输送管道和第二输送管道的一端分别穿过第一储存室和第二储存室并与反应室内部的第一喷淋管道和第二喷淋管道的一端相连接，所述分隔板的靠上端开设有通孔，所述反应室的内部并位于分隔板的右侧安装有空气加热器，所述空气加热器的左端进气口与通孔相连接，所述进气口上安装有风机，所述空气加热器的右上端出气口穿过反应室的顶部并向上延伸，所述空气加热器的底部两侧均通过支撑件分别与分隔板的侧壁和反应室的内侧壁相连接，所述入气口的内部设置有过滤网，所述过滤网的右侧设置有活性炭吸附层，所述第一储存室和第二储存室的内部并位于第一输送管道和第二输送管道上分别安装有第一输送泵和第二输送泵，所述反应室的左下端开设有排液口，所述排液口上安装有阀门。

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