上海高笙集成电路设备有限公司崔汉博获国家专利权
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龙图腾网获悉上海高笙集成电路设备有限公司申请的专利一种水洗式半导体设备尾气处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223641562U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423269142.6，技术领域涉及：B01D47/12；该实用新型一种水洗式半导体设备尾气处理装置是由崔汉博;程勇设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种水洗式半导体设备尾气处理装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种水洗式半导体设备尾气处理装置，该装置包括第一水洗单元、第二水洗单元、第三水洗单元、第四水洗单元，尾气能够同时进入第一水洗单元和第二水洗单元进行水洗，之后经过水箱进入第三水洗单元和第四水洗单元；如此，经过两级水洗增加了尾气与洗涤液之间的接触时间，能够提升尾气的处理效果；尾气能够同时进入两个水洗单元内进行水洗，不仅能够提升水洗的效率，同时，能够降低尾气的密度，使得尾气能够进行充分的水洗，充分去除尾气中的有害物质，提升尾气的处理效果。
本实用新型一种水洗式半导体设备尾气处理装置在权利要求书中公布了：1.一种水洗式半导体设备尾气处理装置，其特征在于，包括水箱、第一水洗单元、第二水洗单元、第三水洗单元、第四水洗单元、进气单元、进气管、排气单元以及排气管；所述第一水洗单元、第二水洗单元、第三水洗单元、第四水洗单元均固接在所述水箱上方，且分别与水箱之间相互连通；所述进气单元设置在所述第一水洗单元和所述第二水洗单元的上方；所述进气管设置在所述进气单元的上方；所述排气单元设置在所述第三水洗单元和所述第四水洗单元的上方；所述排气管设置在所述排气单元的上方。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海高笙集成电路设备有限公司，其通讯地址为：200000 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区奔腾路413、501号、鹏翼路75号10幢一层南侧及三层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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