中国科学院合肥物质科学研究院周海山获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院合肥物质科学研究院申请的专利实时监测材料溅射产率的方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120954768B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511445506.8，技术领域涉及：G21B1/23；该发明授权实时监测材料溅射产率的方法及系统是由周海山;梁婧;李宇;杨钟时;罗广南设计研发完成，并于2025-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本实时监测材料溅射产率的方法及系统在说明书摘要公布了：本申请公开了一种实时监测材料溅射产率的方法及系统，属于等离子体与材料相互作用技术领域。该方法包括：利用等离子体产生装置产生并引导等离子体束流持续轰击待测材料表面；实时采集待测材料表面因溅射产生的特定原子的特征光学发射谱线强度数据；实时采集轰击待测材料表面的等离子体离子饱和电流数据；基于特征光学发射谱线强度数据及光子发射效率，实时计算特定原子的溅射粒子流密度；基于等离子体离子饱和电流数据及探针的有效收集面积，实时计算等离子体离子通量密度；根据溅射粒子流密度与等离子体离子通量密度的比值，实时计算并输出溅射产率。本申请实施例能够实时监测材料产生的溅射产率，有效提高得到的溅射产率的准确性。
本发明授权实时监测材料溅射产率的方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种实时监测材料溅射产率的方法，其特征在于，包括： 利用等离子体产生装置产生并引导等离子体束流持续轰击待测材料表面，以使待测材料发生溅射； 通过光谱采集装置，实时采集所述待测材料表面因溅射产生的特定原子的特征光学发射谱线强度数据； 通过探针采集装置，实时采集轰击所述待测材料表面的等离子体离子饱和电流数据； 基于所述特征光学发射谱线强度数据及光子发射效率，实时计算所述特定原子的溅射粒子流密度； 基于所述等离子体离子饱和电流数据及探针的有效收集面积，实时计算等离子体离子通量密度； 根据所述溅射粒子流密度与所述等离子体离子通量密度的比值，实时计算并输出溅射产率。
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