武汉格蓝若精密技术有限公司任波获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉格蓝若精密技术有限公司申请的专利减振方法、系统、半导体减振设备及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120949846B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511476567.0,技术领域涉及:G05D19/02;该发明授权减振方法、系统、半导体减振设备及存储介质是由任波;李佳辰;王潜;杨恭领;魏晓东设计研发完成,并于2025-10-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本减振方法、系统、半导体减振设备及存储介质在说明书摘要公布了:本发明公开了一种减振方法、系统、半导体减振设备及存储介质,该方法包括:获取减振平台的支撑腿的传感器数据;对支撑腿进行分组,并对每组支撑腿的传感器数据进行逻辑轴拟合,得到该组支撑腿的逻辑轴数据;对所有的逻辑轴数据进行再拟合,得到减振平台的整体逻辑轴数据,并根据整体逻辑轴数据对支撑腿进行减振处理,直至整体逻辑轴数据不大于预设的减振阈值;通过对传感器数据进行两次逻辑轴拟合,能够消除局部传感器数据的冗余干扰,充分利用逻辑轴的数学模型特性提升减振效率;以整体逻辑轴数据不大于预设的减振阈值为减振闭环控制条件,能够持续反馈并优化减振结果,确保减振效精度。
本发明授权减振方法、系统、半导体减振设备及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种减振方法,其特征在于,包括: 获取减振平台的支撑腿的传感器数据; 对所述支撑腿进行分组,并对每组支撑腿的传感器数据进行逻辑轴拟合,得到该组支撑腿的逻辑轴数据; 对所有的逻辑轴数据进行再拟合,得到所述减振平台的整体逻辑轴数据,并根据所述整体逻辑轴数据对所述支撑腿进行减振处理,直至所述整体逻辑轴数据不大于预设的减振阈值; 其中,所述对所述支撑腿进行分组,并对每组支撑腿的传感器数据进行逻辑轴拟合,得到该组支撑腿的逻辑轴数据,包括: 基于预设的分组规则将所述支撑腿划分为多组,得到多组支撑腿; 对每组支撑腿的传感器数据进行模态矩阵变换,得到该组支撑腿的逻辑轴数据。
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