武汉格蓝若精密技术有限公司刘阳获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉武汉格蓝若精密技术有限公司申请的专利减振系统、方法及半导体制造设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120946737B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511469438.9，技术领域涉及：F16F15/02；该发明授权减振系统、方法及半导体制造设备是由刘阳;朱江;李佳辰;袁振宇;丁峰;王俊设计研发完成，并于2025-10-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本减振系统、方法及半导体制造设备在说明书摘要公布了：本申请涉及一种减振系统、方法及半导体制造设备，该系统包括相对间隔设置的底板和顶板以及设于底板和顶板之间的减振支撑组件；减振支撑组件包括多个支撑腿、多个从机箱、主机箱、多个阀和多个致动器；多个支撑腿用于支撑顶板；多个从机箱用于分别获取多个支撑腿的振动数据；主机箱用于对多个支撑腿的振动数据进行整合并确定减振系统的整体振动数据，并将整体振动数据发送至每个从机箱；每个从机箱还用于根据整体振动数据和振动数据确定每个支撑腿的减振修正指令；多个致动器用于根据减振修正指令对所述每个支撑腿进行减振调节；对于任意大运动台面，均能根据需要对任意单点进行减振。
本发明授权减振系统、方法及半导体制造设备在权利要求书中公布了：1.一种减振系统，其特征在于，包括相对间隔设置的底板和顶板以及设于所述底板和所述顶板之间的减振支撑组件； 所述减振支撑组件包括多个支撑腿、多个从机箱、主机箱、多个阀和多个致动器，每个支撑腿均与所述顶板固定连接，且每个支撑腿分别连接一个从机箱、一个阀和一个致动器，所述主机箱与所述多个从机箱信号连接，每个致动器分别与对应的从机箱信号连接； 所述多个支撑腿用于支撑所述顶板； 所述多个从机箱用于分别获取所述多个支撑腿的振动数据； 所述主机箱用于对所述多个支撑腿的振动数据进行整合并确定所述减振系统的整体振动数据，并将所述整体振动数据发送至每个从机箱； 所述每个从机箱还用于根据所述整体振动数据和所述振动数据确定每个支撑腿的减振修正指令； 所述多个致动器用于根据所述减振修正指令对所述每个支撑腿进行减振调节。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人武汉格蓝若精密技术有限公司，其通讯地址为：430070 湖北省武汉市东湖新技术开发区光谷六路88号光谷创新天地B12栋T4单元7层01室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励