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龙图腾网获悉启东新微智造科技有限公司申请的专利一种硅光芯片激光键合设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120933211B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511465659.9，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种硅光芯片激光键合设备是由鲍博;吕淑琴;任利军设计研发完成，并于2025-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种硅光芯片激光键合设备在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体制造设备技术领域，尤其涉及一种硅光芯片激光键合设备，包括台体，所述台体的上表面固定安装有加工框，所述加工框安装有升降气缸，所述升降气缸的驱动轴底端固定安装有激光键合器；所述安装板的上表面固定安装有制冷柜，所述升降气缸的驱动轴上固定套接有固定块，所述固定块的上表面对称固定安装有竖杆，所述竖杆的顶端竖直开设有气槽，所述气槽内滑动密封插设有活塞杆，所述活塞杆的顶端与加工框内顶壁固定连接，所述竖杆的底端固定安装有出气管。利用激光键合器键合过程中竖向往复移动的动作，与活塞杆和竖杆之间的配合，可在键合完成后，将制冷柜内的冷气喷至激光头的表面，从而达到对激光头进行及时降温的效果。

本发明授权一种硅光芯片激光键合设备在权利要求书中公布了：1.一种硅光芯片激光键合设备，包括台体1，其特征在于，所述台体1的上表面固定安装有加工框2，所述加工框2内顶部固定安装有升降气缸3，所述升降气缸3的驱动轴底端固定安装有激光键合器4，所述台体1的上表面设有用于承载硅光芯片和待键合对象的放置组件； 所述加工框2的背面固定安装有安装板，所述安装板的上表面固定安装有制冷柜5，所述升降气缸3的驱动轴上固定套接有固定块6，所述固定块6的上表面对称固定安装有竖杆7，所述竖杆7的顶端竖直开设有气槽，所述气槽内滑动密封插设有活塞杆9，所述活塞杆9的顶端与加工框2内顶壁固定连接，所述竖杆7的底端固定安装有出气管10，所述出气管10的底端穿出固定块6，并朝向激光键合器4的激光头，所述竖杆7通过进气管11与制冷柜5相连通，所述进气管11和出气管10内均设有单向阀； 在激光键合器4下移的过程中，位于制冷柜5内的冷气便会从进气管11进入气槽，当完成键合加工，升降气缸3带着激光键合器4上移，位于气槽内的冷气从出气管10喷出，对激光头进行降温。

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