三代光学科技(天津)有限公司殷双雄获国家专利权
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龙图腾网获悉三代光学科技(天津)有限公司申请的专利基于压电陶瓷驱动的缺陷标记方法、系统、介质和设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120928645B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511457745.5,技术领域涉及:G03F7/00;该发明授权基于压电陶瓷驱动的缺陷标记方法、系统、介质和设备是由殷双雄;张效栋;李江;相泳旭设计研发完成,并于2025-10-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于压电陶瓷驱动的缺陷标记方法、系统、介质和设备在说明书摘要公布了:本申请提供了一种基于压电陶瓷驱动的缺陷标记方法、系统、介质和设备,涉及精密微纳加工技术领域,包括:获取待处理板材每一缺陷点的坐标;控制XY移动平台根据当前缺陷点的坐标将当前缺陷点移动至缺陷标记装置的压头的正下方;获取当前缺陷点与压头尖端的距离;控制缺陷标记装置的z轴驱动器带动压头下压,以使得压头与待处理板材的表面接触且不破坏待处理板材表面;根据待处理板材的硬度和预设缺陷标记时长,控制压头根据第一缺陷标记方式或第二缺陷标记方式对待处理板材进行压印。本申请实现了纳米级的压印精度和可控的压痕形貌,解决了传统机械压印难以实现该效果的问题,还具备高重复精度,可兼容多种不同硬度的膜层材料。
本发明授权基于压电陶瓷驱动的缺陷标记方法、系统、介质和设备在权利要求书中公布了:1.一种基于压电陶瓷驱动的缺陷标记方法,其特征在于,所述方法包括: 获取待处理板材每一缺陷点的坐标; 响应于处理当前缺陷点,控制XY移动平台根据当前缺陷点的坐标将当前缺陷点移动至缺陷标记装置的压头的正下方; 根据光学传感器获取当前缺陷点与压头尖端的距离; 根据当前缺陷点与压头尖端的距离,控制缺陷标记装置的z轴驱动器带动压头下压,以使得压头与待处理板材的表面接触且不破坏待处理板材表面;其中,z轴驱动器包括非压电陶瓷驱动器和压电陶瓷驱动器;非压电陶瓷驱动器对应的下压距离和压电陶瓷驱动器对应的下压距离不同; 根据待处理板材的硬度和预设缺陷标记时长,控制压头根据第一缺陷标记方式或第二缺陷标记方式对待处理板材进行压印;其中,第一缺陷标记方式根据压力控制;第二缺陷标记方式根据距离控制; 所述根据待处理板材的硬度和预设缺陷标记时长,控制压头根据第一缺陷标记方式或第二缺陷标记方式对待处理板材进行压印,包括: 若待处理板材的硬度大于预设硬度阈值,且待处理板材的预设缺陷标记时长大于预设缺陷标记时长阈值,则控制压头根据第一缺陷标记方式进行压印; 若待处理板材的硬度小于或等于预设硬度阈值,且待处理板材的预设缺陷标记时长小于或等于预设缺陷标记时长阈值,则控制压头根据第二缺陷标记方式进行压印。
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