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龙图腾网获悉中科芯微智能装备(沈阳)有限公司申请的专利双臂真空机械手获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120921337B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511460679.7，技术领域涉及：B25J9/00；该发明授权双臂真空机械手是由朱玉东;常志勇;董宏达;侯双明;孟君燕;张佳媛设计研发完成，并于2025-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本双臂真空机械手在说明书摘要公布了：本发明公开了双臂真空机械手，涉及半导体晶圆传递设备领域，包括：动力输出件；动力传递件，用于传递动力输出部的扭矩，动力传递件与动力输出部之间形成有第一环状间隙；动力输出部与手臂壳体之间形成有第二环状间隙；紧固组件，包括膨胀件和驱动件，两个膨胀件分别设置于第一环状间隙和第二环状间隙内；当膨胀件在被轴向挤压时能在第一环状间隙及第二环状间隙内产生径向膨胀，以径向压紧动力输出部与动力传递件、以及动力输出部与手臂壳体。上述方案在机械手有限轴向空间内实现动力轴稳固安装与可靠扭矩输出。

本发明授权双臂真空机械手在权利要求书中公布了：1.双臂真空机械手，包括本体1以及枢转连接在所述本体1的手臂，其特征在于，还包括： 动力输出件4，位于所述本体1内，具有多个同轴设置且沿径向依次分布的动力轴，多个所述动力轴的动力输出部位于不同的轴向高度； 动力传递件5，用于传递所述动力输出部的扭矩，所述动力传递件5与所述动力输出部之间形成有第一环状间隙； 手臂壳体6，沿第一方向延伸并开设有用于容纳所述动力输出部的第一空间，内部开设有用于容纳所述动力传递件5的呈环状的第二空间，所述第二空间沿径向环绕分布在所述第一空间的外周侧，所述动力输出部与所述手臂壳体6之间形成有第二环状间隙； 紧固组件，包括膨胀件8和驱动件7，两个所述膨胀件8分别设置于所述第一环状间隙和所述第二环状间隙内，所述驱动件7被配置为向所述膨胀件8施加轴向的挤压力； 其中，当所述膨胀件8在分别受到所述驱动件7的轴向挤压时能在所述第一环状间隙及所述第二环状间隙内产生径向膨胀，以径向压紧所述动力输出部与所述动力传递件5、以及所述动力输出部与所述手臂壳体6； 所述手臂壳体6包括第一上臂壳体61、第二上臂壳体62和第一转接轴63，所述第一上臂壳体61与所述第二上臂壳体62枢转连接，所述第一转接轴63与所述动力输出部通过所述紧固组件固定连接；所述第一转接轴63包括圆环部631和沿所述圆环部631内周边缘向内延伸并固定连接的转接部632，所述圆环部631的外周壁与所述第一上臂壳体61固定连接； 所述动力输出件4包括沿径向依次向外分布的第一动力轴41、第二动力轴42和第三动力轴43； 所述动力传递件5包括同轴且固定连接的第一肩部带轮51和第二肩部带轮52，所述第一动力轴41与所述第一转接轴63固定连接； 所述第二动力轴42固定连接有第二转接轴，所述第二转接轴与所述第二肩部带轮52固定连接；所述第三动力轴43连接有第三转接板431，所述第三转接板431与所述第二上臂壳体62固定连接。

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