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龙图腾网获悉启东惜时智能科技有限公司申请的专利一种仪表芯片加工用刻蚀装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120914148B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511437433.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种仪表芯片加工用刻蚀装置是由张瑜;赵旭;魏旌帆设计研发完成，并于2025-10-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种仪表芯片加工用刻蚀装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种仪表芯片加工用刻蚀装置，包括壳体，所述壳体上固定设置有顶板，所述顶板通过两个撑杆与壳体的上壁相连接，所述顶板上固定设置有电机，所述电机的输出端固定连接设置有转杆，所述转杆转动贯穿顶板设置，所述壳体上设有上端开口的空腔，所述转杆延伸至空腔内设置，所述壳体内滑动设置有升降台，所述升降台通过两个滑杆滑动设置在壳体的空腔内，所述升降台上设有芯片夹持机构，且所述升降台上转动设置有套环，所述套环套设在转杆上。本发明能够持续的对刻蚀溶液进行搅拌，提高刻蚀的速率，且能够持续的对壳体进行撞击振动，产生振动波，使得刻蚀溶液内产生微小空泡带走硅片表面的杂质，提高刻蚀的效果。

本发明授权一种仪表芯片加工用刻蚀装置在权利要求书中公布了：1.一种仪表芯片加工用刻蚀装置，包括壳体1，其特征在于，所述壳体1上固定设置有顶板3，所述顶板3通过两个撑杆2与壳体1的上壁相连接，所述顶板3上固定设置有电机4，所述电机4的输出端固定连接设置有转杆5，所述转杆5转动贯穿顶板3设置，所述壳体1上设有上端开口的空腔，所述转杆5延伸至空腔内设置，所述壳体1内滑动设置有升降台7，所述升降台7通过两个滑杆8滑动设置在壳体1的空腔内，所述壳体1的内壁上对称开设有两个与滑杆8对应的滑动槽，所述升降台7上设有芯片夹持机构，且所述升降台7上转动设置有套环6，所述套环6套设在转杆5上，所述升降台7上开设有与套环6对应的转口24，所述转杆5上设置有外螺纹，所述套环6的内壁上开设有与转杆5对应的内螺纹，所述升降台7上设有与套环6对应的连接机构，所述转杆5远离电机4的一端还周向固定设置有若干搅拌叶25，所述壳体1上还设有与之对应的振动机构，所述壳体1的下端侧壁上还固定设置有出液口23，所述出液口23上固定设置有密封盖； 所述振动机构包括两个滑座16，所述壳体1的侧壁上对称固定设置有两个滑轨15，两个所述滑座16分别滑动设置在两个滑轨15上，两个所述滑轨15远离壳体1的一侧均固定设置有挡块，且两个所述滑座16的下壁均固定设置有振动撞击头19，两个所述振动撞击头19均呈L形靠近壳体1设置，两个所述滑座16上均设有与之对应的传动机构； 所述传动机构包括两个转轮17，两个所述滑座16上均开设有与转轮17对应的传动槽18，两个所述转轮17的侧壁上周向开设有半圈卡齿，两个所述传动槽18的两侧侧壁上均开设有与卡齿对应的卡齿槽，两个所述转轮17分别转动设置在两个传动槽18内，且两个所述转轮17上均固定设置有传动杆21，两个所述传动杆21均通过传动带22与转杆5的上端传动连接。

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