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深圳市青虹激光科技有限公司高昆获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳市青虹激光科技有限公司申请的专利一种薄膜太阳能电池蚀刻透光率动态控制系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120891852B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511388847.6,技术领域涉及:G05D3/20;该发明授权一种薄膜太阳能电池蚀刻透光率动态控制系统及方法是由高昆;刘祥;李岳强;李成设计研发完成,并于2025-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。

一种薄膜太阳能电池蚀刻透光率动态控制系统及方法在说明书摘要公布了:本发明公开一种薄膜太阳能电池蚀刻透光率动态控制系统及方法,解决动态加工中运动平台速度波动导致蚀刻线间距不稳定、透光率偏差超标的技术问题。系统包括运动平台模块、振镜扫描模块及透光率控制单元。速度传感器实时采集平台实际速度,PID调节单元根据目标透光率预设值和实际速度计算中心间距修正量,激光频率调节模块同步按公式f=vd调整发射频率,确保蚀刻线间距动态适配速度变化。本发明将透光率偏差稳定控制在≤3%,解决速度波动导致的透光率不稳定问题,加工效率提升40%以上,良率达99.5%,适用于碲化镉、钙钛矿等薄膜电池蚀刻。

本发明授权一种薄膜太阳能电池蚀刻透光率动态控制系统及方法在权利要求书中公布了:1.一种薄膜太阳能电池蚀刻透光率动态控制系统,其特征在于,包括: 运动平台模块,所述运动平台模块承载薄膜太阳能电池衬底,并沿预设方向以预设速度连续移动; 振镜扫描模块,所述振镜扫描模块在薄膜太阳能电池衬底连续移动中向薄膜太阳能电池衬底表面发射激光束并形成蚀刻线; 透光率控制单元,包括速度传感器和PID调节单元,所述速度传感器实时采集运动平台模块的实际速度,所述PID调节单元根据目标透光率预设值和实际速度实时调整振镜扫描模块的相邻蚀刻线的中心间距以维持目标透光率偏差在透光率偏差阈值内; 所述PID调节单元包括: 偏差计算模块,接收目标透光率预设值和实际透光率测量值,计算实际透光率偏差; 比例‑积分‑微分调节模块,根据实际透光率偏差输出中心间距修正量; 输出限幅模块,将中心间距修正量限制在中心间距修正量限幅范围内,以避免中心间距突变导致蚀刻线断裂; 频率控制模块,根据初始中心间距和限制后的中心间距修正量计算修正后的中心间距,根据修正后的中心间距和实际速度调整振镜扫描模块的激光发射频率。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳市青虹激光科技有限公司,其通讯地址为:518000 广东省深圳市宝安区福海街道塘尾社区工业大道4号厂房二栋1A;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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