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龙图腾网获悉西安交通大学申请的专利一种薄膜基底系统中薄膜硬度与厚度的同步获取方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120890837B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511383102.0，技术领域涉及：G01N3/40；该发明授权一种薄膜基底系统中薄膜硬度与厚度的同步获取方法是由张伟旭;徐渝坤设计研发完成，并于2025-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种薄膜基底系统中薄膜硬度与厚度的同步获取方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种薄膜基底系统中薄膜硬度与厚度的同步获取方法，涉及表面涂层技术领域，包括以下步骤：对已知薄膜厚度的第一薄膜基底系统进行压痕测试，得到多组第一数据；将多组第一数据输入至硬度‑深度模型进行拟合，得到第一曲线并回归至无穷远，得到基底的硬度以及硬度分配参数的标定值；对未知薄膜厚度但采用相同材料的第二薄膜基底系统进行压痕测试，得到多组第二数据；将基底的硬度、标定值以及多组第二数据输入至硬度‑深度模型进行拟合，得到薄膜厚度；将薄膜厚度、基底硬度以及多组第二数据输入至硬度‑深度模型进行拟合，得到第二曲线，将第二曲线回归至深度为0，得到薄膜的硬度。本发明降低了拟合质量对较宽范围内的数据的依赖性。

本发明授权一种薄膜基底系统中薄膜硬度与厚度的同步获取方法在权利要求书中公布了：1.一种薄膜基底系统中薄膜硬度与厚度的同步获取方法，其特征在于，包括以下步骤： 对已知薄膜厚度的第一薄膜基底系统进行压痕测试，得到多组第一数据，每组第一数据均包括相对压痕深度与对应的系统复合硬度值； 将多组第一数据输入至硬度‑深度模型进行拟合，得到第一曲线，将第一曲线回归至无穷远，得到第一薄膜基底系统中基底硬度以及硬度‑深度模型中硬度分配参数的标定值，所述硬度‑深度模型用于表征薄膜基底系统中的复合硬度与相对压痕深度关系，所述硬度分配参数用于量化复合硬度从薄膜主导到基底主导的行为转变过程； 对未知薄膜厚度但采用相同材料的第二薄膜基底系统进行压痕测试，得到多组第二数据，每组第二数据均包括绝对压痕深度与对应的系统复合硬度值；所述绝对压痕深度为压头压入至薄膜的深度值，所述相对压痕深度为绝对压痕深度与薄膜厚度的比值； 将基底硬度、硬度分配参数的标定值以及多组第二数据输入至硬度‑深度模型进行拟合，得到第二薄膜基底系统中薄膜厚度；将薄膜厚度、基底硬度以及多组第二数据输入至硬度‑深度模型进行拟合，得到第二曲线，将第二曲线回归至深度为0，得到第二薄膜基底系统中薄膜硬度。

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