南京航空航天大学殷俊获国家专利权
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龙图腾网获悉南京航空航天大学申请的专利机械谐振器、受迫谐振装置及制造方法与应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120880377B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511400178.X，技术领域涉及：H03H9/24；该发明授权机械谐振器、受迫谐振装置及制造方法与应用是由殷俊;高志达;李基东;李雪梅设计研发完成，并于2025-09-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本机械谐振器、受迫谐振装置及制造方法与应用在说明书摘要公布了：本发明提供了一种机械谐振器、受迫谐振装置及制造方法与应用，属于电子元器件技术领域。本发明提供的机械谐振器，包括部分区域具有贯穿的孔的绝缘基板，该所述基板上方具有导电薄膜，基板下方具有腔室，所述腔室的内、外存在压强差，所述导电薄膜受到所述压强差的作用存在形变；腔室内具有液体介质，所述液体介质通过基板上的贯穿的孔与导电薄膜接触。本发明提供的机械谐振器及受迫谐振装置，在十毫伏级的交流电压下即可产生可测量的周期性机械振动，通过调节交流信号的幅值与频率，以及腔室内的气体压力，可实现多维度可调的振动响应，大幅提高激励效率，降低系统能耗。
本发明授权机械谐振器、受迫谐振装置及制造方法与应用在权利要求书中公布了：1.机械谐振器，其特征在于，所述机械谐振器包括：基板120，所述基板120为绝缘基板，且所述基板120至少存在部分区域121，该所述部分区域121具有贯穿的孔122； 位于所述基板120上方的导电薄膜110； 位于所述基板120下方的腔室131，所述基板120与导电薄膜110配合，对所述腔室131形成密封，所述腔室131的内、外存在压强差，所述导电薄膜110受到所述压强差的作用存在形变；腔室131内具有液体介质140，所述液体介质140通过基板120上的贯穿的孔122与位于所述基板120上方的导电薄膜110接触； 与所述导电薄膜110接触的第一电极210； 与所述液体介质140接触的第二电极220； 所述腔室131内具有气腔150，所述液体介质140位于靠近基板120的方向，所述气腔150位于远离基板120的方向； 腔室131内的液体介质140通过基板120上的贯穿的孔122与位于所述基板120上方的导电薄膜110接触。
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