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龙图腾网获悉天津双微电子科技有限公司申请的专利等离子刻蚀设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120878532B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511394043.7，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权等离子刻蚀设备是由王晓东设计研发完成，并于2025-09-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本等离子刻蚀设备在说明书摘要公布了：本申请提供了一种等离子刻蚀设备，包括壳体、两个加工组件、转运机械手和控制单元；壳体内部具有封闭的工作腔，所述壳体靠近所述转运区的侧面外周设有晶圆储存盒；两个所述加工组件分别能对晶圆进行刻蚀加工；所述转运机械手能从所述晶圆储存盒取出晶圆，并将晶圆移至两个所述加工组件进行加工；控制单元安装于所述壳体外周，所述控制单元分别与所述转运机械手、两个所述加工组件以及所述晶圆储存盒通讯连接。本申请提供的等离子刻蚀设备，本申请通过设置一个具有封闭工作腔的壳体，将转运区和加工区整合在同一壳体内，将生产线各单元合并，提高了空间利用率，通过控制单元即可控制各组件工作，提高了刻蚀工作的自动化程度。

本发明授权等离子刻蚀设备在权利要求书中公布了：1.一种等离子刻蚀设备，其特征在于，包括： 壳体100，内部具有封闭的工作腔101，所述工作腔101沿晶圆移动路径分为转运区和加工区，所述壳体100靠近所述转运区的一侧设有晶圆储存盒110，所述晶圆储存盒110与所述转运区连通以存放晶圆； 两个加工组件200，分别设于所述加工区，两个所述加工组件200分别能对晶圆进行刻蚀加工； 转运机械手300，安装于所述转运区，所述转运机械手300能从所述晶圆储存盒110取出晶圆，并将晶圆移至两个所述加工组件200其中之一进行加工；以及控制单元400，安装于所述壳体100外周，所述控制单元400分别与所述转运机械手300、两个所述加工组件200以及所述晶圆储存盒110通讯连接； 所述加工组件200包括： 屏蔽罩210，所述屏蔽罩210上设有屏蔽器，所述屏蔽器连接匹配器220，加工区上方设有射频电源； 匹配器220，设于所述壳体100的内壁，所述匹配器220与所述屏蔽器连接； 石英腔体230，设于所述屏蔽罩210内部，所述石英腔体230的外周绕设有磁控管231，所述磁控管231与射频电源232连接，以使所述石英腔体230内部产生等离子； 上腔体240，设于所述石英腔体230底部，并与所述石英腔体230连通；以及升降台250，设于所述上腔体240正下方，所述升降台250具有沿竖直方向移动的下托盘260，所述下托盘260上开设有晶圆安装位261，所述下托盘260能向上移动并与所述上腔体240对接形成密闭的加工空间。

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