西北工业大学王建元获国家专利权
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龙图腾网获悉西北工业大学申请的专利一种利用功率超声定量控制电沉积铜箔晶粒尺寸的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120866892B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511403270.1,技术领域涉及:G06F30/20;该发明授权一种利用功率超声定量控制电沉积铜箔晶粒尺寸的方法是由王建元;伍成文;翟薇;魏炳波设计研发完成,并于2025-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种利用功率超声定量控制电沉积铜箔晶粒尺寸的方法在说明书摘要公布了:本发明属于电解铜箔技术领域,具体涉及一种利用功率超声定量控制电沉积铜箔晶粒尺寸的方法。本发明在电解液中施加具有系列超声波振幅的超声波场进行电沉积,在阴极上沉积得到不同超声波振幅下的铜箔;将平均晶粒尺寸与超声波振幅进行指数拟合,得到式I,根据所述式I控制超声波振幅进行电沉积,得到所需平均晶粒尺寸的铜箔。本发明结合功率超声特性与晶粒尺寸的定量关系,通过调节超声波振幅实现铜箔晶粒细化,并建立超声振幅与目标晶粒尺寸之间的函数关联,从而实现铜箔晶粒结构的精准可控制备,提高晶粒尺寸的均一性,提高铜箔产品的一致性和稳定性,适用于制备晶粒可控的自支撑或附载体型电解铜箔。式I。
本发明授权一种利用功率超声定量控制电沉积铜箔晶粒尺寸的方法在权利要求书中公布了:1.一种利用功率超声定量控制电沉积铜箔晶粒尺寸的方法,其特征在于,包括以下步骤: 1在电解液中施加具有系列超声波振幅的超声波场进行电沉积,在阴极上沉积得到不同超声波振幅下的铜箔; 2获得步骤1中不同超声波振幅下的铜箔的平均晶粒尺寸,将所述不同超声波振幅下的铜箔的平均晶粒尺寸与所述系列超声波振幅进行指数拟合,得到平均晶粒尺寸与超声波振幅之间的函数关系式,如式I所示: 式I,其中d为平均晶粒尺寸,单位µm,A为超声波振幅,单位µm,d0、k和dmin为拟合参数; 3将步骤1中超声波场的超声波振幅设置为根据所述式I确定的与所需铜箔的平均晶粒尺寸相对应的超声波振幅,继续进行步骤1的电沉积,得到所需平均晶粒尺寸的铜箔; 所述超声波场的频率为20~100kHz;所述系列超声波振幅为2~42µm中任取3个以上的点值;所述超声波场为连续超声波场或间歇超声波场; 所述电沉积的电流密度为0.5~100Adm2;所述电沉积过程中电流为恒定电流;所述电沉积过程中电解液的温度为20~60℃;所述电沉积的时间为5~3600s。
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