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龙图腾网获悉无锡星微科技有限公司杭州分公司申请的专利一种含可以连续旋转升降机构的气浮升降旋转平台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120816447B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511335476.5，技术领域涉及：B25H1/16；该发明授权一种含可以连续旋转升降机构的气浮升降旋转平台是由陆敏杰;姜燕燕;沈恒宇设计研发完成，并于2025-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种含可以连续旋转升降机构的气浮升降旋转平台在说明书摘要公布了：本发明属于半导体制造设备领域，具体涉及一种含可以连续旋转升降机构的气浮升降旋转平台。该平台集成旋转机构与升降机构，旋转机构采用气浮轴承实现无摩擦旋转，升降机构通过一号音圈电机驱动气浮轴在直线导轨上精准升降。通过气浮轴承分离旋转与升降运动，实现运动解耦，避免内部线缆缠绕。平台采用气缸预顶升与二号音圈电机精调的分级驱动策略，兼具高速响应与微米级定位精度，适用于晶圆检测中需同步旋转升降的精密扫描场景，有效提升检测效率和可靠性。

本发明授权一种含可以连续旋转升降机构的气浮升降旋转平台在权利要求书中公布了：1.一种含可以连续旋转升降机构的气浮升降旋转平台，其特征在于，包括旋转机构1和升降机构2，所述升降机构2包括一号音圈电机21和直线导轨22，所述旋转机构1包括气浮轴11和旋转平台12，所述气浮轴11外围安装有旋转电机6，底部安装有一号音圈电机21，所述气浮轴11通过气浮轴承3安装于直线导轨22的上，所述气浮轴承3分为轴承内圈3a和轴承外圈3b，所述一号音圈电机21驱动气浮轴11和气浮轴承3在直线导轨22上竖直移动，当气浮轴承3通气后，所述旋转电机6驱动气浮轴11和轴承内圈3a绕气浮轴11轴线旋转，所述一号音圈电机21安装于滑块4内部，所述滑块4与导向块5滑动连接，所述导向块5底部设有若干个二号音圈电机51，所述二号音圈电机51用于驱动滑块4竖直移动，所述导向块5侧面设有气缸52，所述气缸52驱动杆连接承载台7底部； 还包括控制单元、位置传感器、加速度传感器； 所述控制单元被配置为执行升降运动控制方法，包括： 基于目标位置和所述位置传感器反馈的实际位置，计算位置误差； 当所述位置误差大于第一设定阈值时，主要驱动所述气缸52进行运动，使所述滑块4快速趋近目标位置； 当所述位置误差小于或等于所述第一设定阈值时，主要驱动所述二号音圈电机51进行运动，同时控制所述气缸52保持恒定支撑力或锁定位置，使所述滑块4精确定位至目标位置； 在主要驱动所述二号音圈电机51的阶段，所述控制单元根据所述位置误差实时计算并输出控制指令至所述二号音圈电机51，实现所述滑块4的高精度定位或振动抑制。

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