买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利一种缺陷检测系统及缺陷检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120801333B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511311210.7，技术领域涉及：G01N21/88；该发明授权一种缺陷检测系统及缺陷检测方法是由陈鲁;黄有为;张龙;赵康俊;刘英见设计研发完成，并于2025-09-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种缺陷检测系统及缺陷检测方法在说明书摘要公布了：本申请提供一种缺陷检测系统及缺陷检测方法，缺陷检测系统包括用于承载待测物的载物台、位于载物台同一侧的照明通道和多个检测通道。光源发出的入射光所在的入射平面与检测平面垂直，检测平面为多个检测通道的光轴所在平面；多个检测通道包括第一检测通道、第二检测通道和第三检测通道；第一检测通道包括第一物镜和第一检测器，第二检测通道包括第二物镜和第二检测器，第三检测通道包括第三物镜和第三检测器，第一物镜的第一数值孔径大于第二物镜的第二数值孔径。本申请提供的缺陷检测系统具有较高的检测灵敏度以及较宽的动态范围。

本发明授权一种缺陷检测系统及缺陷检测方法在权利要求书中公布了：1.一种缺陷检测系统，其特征在于，包括： 载物台；所述载物台用于承载待测物； 位于所述载物台同一侧的照明通道和多个检测通道；所述照明通道包括光源，所述光源用于向所述待测物的检测区域提供检测光斑，所述检测通道用于收集所述检测光斑在所述检测区域产生的散射光，并确定所述散射光的信号强度，以便基于所述信号强度确定所述检测区域的缺陷信息； 所述光源发出的入射光所在的入射平面与检测平面垂直，所述检测平面为所述多个检测通道的光轴所在平面； 所述多个检测通道包括第一检测通道、第二检测通道和第三检测通道；所述第一检测通道的光轴与所述待测物表面之间的法线方向之间具有第一偏离角度，所述第二检测通道的光轴与所述法线方向之间具有第二偏离角度，所述第三检测通道的光轴与所述法线方向之间具有第三偏离角度，所述第一偏离角度和所述第二偏离角度都大于所述第三偏离角度，且所述第一偏离角度和所述第二偏离角度都与所述第三偏离角度之间满足角度差异条件； 所述第一检测通道包括第一物镜和第一检测器，所述第二检测通道包括第二物镜和第二检测器，所述第三检测通道包括第三物镜和第三检测器，所述第一物镜的第一数值孔径大于所述第二物镜的第二数值孔径； 通过所述照明通道和所述多个检测通道对位于所述载物台上的所述待测物的不同区域进行缺陷检测； 在对所述待测物的所述检测区域进行缺陷检测时，通过所述照明通道使所述光源向所述检测区域提供检测光斑，利用各个所述检测通道收集所述检测光斑在所述检测区域产生的散射光，并确定所述散射光的信号强度； 基于所述第一检测通道的第一信号强度、所述第二检测通道的第二信号强度和所述第三检测通道的第三信号强度，确定所述检测区域的缺陷信息； 在所述缺陷信息包括缺陷类型，所述缺陷类型包括凸起类缺陷和凹陷类缺陷时，所述基于所述第一检测通道的第一信号强度、所述第二检测通道的第二信号强度和所述第三检测通道的第三信号强度，确定所述检测区域的缺陷信息，包括： 在所述第一信号强度、所述第二信号强度和所述第三信号强度都大于第一阈值时，基于所述第一信号强度和所述第二信号强度确定有效信号强度；所述第一阈值大于或等于所述待测物对应的噪声信号强度； 确定所述第三信号强度与所述有效信号强度的信号强度比； 如果所述信号强度比大于第二阈值，确定所述检测区域具有凹陷类缺陷，否则，确定所述检测区域具有凸起类缺陷。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳中科飞测科技股份有限公司，其通讯地址为：518110 广东省深圳市龙华区观澜街道新澜社区观光路1301-14号101、102；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。